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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
CORDIS
Contenu archivé le 2024-06-18

Pre-standardisation of incremental FIB micro-milling for intrinsic stress evaluation at the sub-micron scale

Objectif

"Intrinsic (or residual) stresses, resulting from manufacturing or processing steps, mostly define the performance and limit the lifetime of nanostructured materials, thin films, coatings and MEMS devices.
The established techniques for micron-scale measurement of residual stress still have strong limitations, e.g. in terms of spatial resolution, lack of depth sensing, their applicability on non-crystalline materials or accessibility to industry.
In this project, a European consortium is established to develop an innovative, highly reproducible and automated measurement protocol for the analysis of residual stress on a sub-micron scale, based on incremental focused ion beam (FIB) milling, along with high-resolution in situ Scanning Electron Microscopy (SEM) imaging and full field strain analysis by digital image correlation (DIC).
The activities will focus on the implementation and pre-standardisation of automated FIB-SEM, DIC and inverse stress calculation procedures, under official project liaisons with both CEN and VAMAS, together with the analysis and modelling of FIB induced artefacts and stress-structure-properties relationship for the selected materials and devices.
The final aim of the project will be the development of innovative design rules, implemented into simulation and optimization tools under coordination of industry partners, for the production of residual stress-controlled nanostructured materials, with specific focus on (i) multi-layered nano-coatings, (ii) micro/nano-crystalline and amorphous materials, (iii) MEMS and 3D metal interconnects.
The project is expected to realize a breakthrough in measurement, standardization and modelling ability of the residual stress distribution at the sub-micron scale.
The measurement techniques and the simulation tools will provide SMEs in particular with enabling technologies for the design and efficient production of innovative micro-devices with improved performance and substantially reduce development costs."

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

FP7-NMP-2013-LARGE-7
Voir d’autres projets de cet appel

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

CP-IP - Large-scale integrating project

Coordinateur

UNIVERSITA DEGLI STUDI ROMA TRE
Contribution de l’UE
€ 1 077 525,68
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (13)

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