3D Silicon Micromachining with Infrared ultrafast LasErs

Projektinformationen

SMILE

ID Finanzhilfevereinbarung: 660769

DOI

10.3030/660769

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 27 März 2015

Startdatum 30 September 2015

Enddatum 29 September 2017

Finanziert unter

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Gesamtkosten

€ 145 845,60

EU-Beitrag

€ 145 845,60

Koordiniert durch

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Türkiye

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Veröffentlichungen

Peer reviewed articles (2)

Femtosecond laser written waveguides deep inside silicon

Autoren: I. Pavlov, O. Tokel, S. Pavlova, V. Kadan, G. Makey, A. Turnali, Ö. Yavuz, F. Ö. Ilday
Veröffentlicht in: Optics Letters, Ausgabe 42/15, 2017, Seite(n) 3028, ISSN 0146-9592
Herausgeber: Optical Society of America
DOI: 10.1364/OL.42.003028

In-chip microstructures and photonic devices fabricated by nonlinear laser lithography deep inside silicon

Autoren: Onur Tokel, Ahmet Turnalı, Ghaith Makey, Parviz Elahi, Tahir Çolakoğlu, Emre Ergeçen, Özgün Yavuz, René Hübner, Mona Zolfaghari Borra, Ihor Pavlov, Alpan Bek, Raşit Turan, Denizhan Koray Kesim, Serhat Tozburun, Serim Ilday, F. Ömer Ilday
Veröffentlicht in: Nature Photonics, Ausgabe 11/10, 2017, Seite(n) 639-645, ISSN 1749-4885
Herausgeber: Nature Pub. Group
DOI: 10.1038/s41566-017-0004-4