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Veröffentlichungen
Autoren:
X Wang, SJ Bleiker, M Antelius, G Stemme, F Niklaus
Veröffentlicht in:
Journal of Microelectromechanical Systems, Ausgabe PP, 99, 2017, Seite(n) 1-9, ISSN 1057-7157
Herausgeber:
Institute of Electrical and Electronics Engineers
DOI:
10.1109/JMEMS.2017.2654510
Autoren:
Frank Niklaus, Andreas C. Fischer
Veröffentlicht in:
2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2016, Seite(n) 1-2, ISBN 978-1-5090-1035-6
Herausgeber:
IEEE
DOI:
10.1109/OMN.2016.7565909
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