Veröffentlichungen
Autoren:
L. Romano, J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, M. Stampanoni
Veröffentlicht in:
Microelectronic Engineering, Ausgabe 177, 2017, Seite(n) 59-65, ISSN 0167-9317
Herausgeber:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2017.02.008
Autoren:
L. Romano, J. Vila-Comamala, M. Kagias, K. Vogelsang, H. Schift, M. Stampanoni, K. Jefimovs
Veröffentlicht in:
Microelectronic Engineering, Ausgabe 176, 2017, Seite(n) 6-10, ISSN 0167-9317
Herausgeber:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2016.12.032
Autoren:
Lucia Romano, Joan Vila-Comamala, Helmut Schift, Marco Stampanoni, Konstantins Jefimovs
Veröffentlicht in:
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, Ausgabe 35/6, 2017, Seite(n) 06G302, ISSN 2166-2754
Herausgeber:
AVS Science and Technology Society
DOI:
10.1116/1.4991807
Autoren:
Joan Vila-Comamala, Lucia Romano, Vitaliy Guzenko, Matias Kagias, Marco Stampanoni, Konstantins Jefimovs
Veröffentlicht in:
Microelectronic Engineering, Ausgabe 192, 2018, Seite(n) 19-24, ISSN 0167-9317
Herausgeber:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2018.01.027
Autoren:
Konstantins Jefimovs, Lucia Romano, Joan Vila-Comamala, Matias Kagias, Zhentian Wang, Li Wang, Christian Dais, Harun Solak, Marco Stampanoni
Veröffentlicht in:
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV, 2017, Seite(n) 101460L
Herausgeber:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2258007
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