Effect of isopropanol on gold assisted chemical etching of silicon microstructures
(si apre in una nuova finestra)
Autori:
L. Romano, J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, M. Stampanoni
Pubblicato in:
Microelectronic Engineering, Numero 177, 2017, Pagina/e 59-65, ISSN 0167-9317
Editore:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2017.02.008
High aspect ratio metal microcasting by hot embossing for X-ray optics fabrication
(si apre in una nuova finestra)
Autori:
L. Romano, J. Vila-Comamala, M. Kagias, K. Vogelsang, H. Schift, M. Stampanoni, K. Jefimovs
Pubblicato in:
Microelectronic Engineering, Numero 176, 2017, Pagina/e 6-10, ISSN 0167-9317
Editore:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2016.12.032
Hot embossing of Au- and Pb-based alloys for x-ray grating fabrication
(si apre in una nuova finestra)
Autori:
Lucia Romano, Joan Vila-Comamala, Helmut Schift, Marco Stampanoni, Konstantins Jefimovs
Pubblicato in:
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, Numero 35/6, 2017, Pagina/e 06G302, ISSN 2166-2754
Editore:
AVS Science and Technology Society
DOI:
10.1116/1.4991807
Towards sub-micrometer high aspect ratio X-ray gratings by atomic layer deposition of iridium
(si apre in una nuova finestra)
Autori:
Joan Vila-Comamala, Lucia Romano, Vitaliy Guzenko, Matias Kagias, Marco Stampanoni, Konstantins Jefimovs
Pubblicato in:
Microelectronic Engineering, Numero 192, 2018, Pagina/e 19-24, ISSN 0167-9317
Editore:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2018.01.027
