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Feasibility Study for INTELEG® S HF – a Wide Pressure Range Process Gas Analysis System

Descripción del proyecto

Una nueva tecnología de control de procesos radical permitirá el depósito optimizado de películas delgadas

Las películas delgadas y ultradelgadas son capas de materiales depositadas sobre un sustrato masivo con el fin de cambiar o mejorar sus propiedades. Sus grosores van de una micra a fracciones de un nanómetro y el mercado para ellas está creciendo, con aplicaciones de alta tecnología, como dispositivos semiconductores, nanotecnología, optoelectrónica y dispositivos médicos y medioambientales. La deposición de estas láminas tan delgadas es complicada y se realiza mediante distintas técnicas, muchas de las cuales se utilizan en una cámara de vacío. El proyecto INTELEG S HF, financiado con fondos europeos, trabaja en el desarrollo de un sistema pionero de análisis de gases para el control de procesos en todos los entornos relevantes que hará crecer el mercado en expansión de las películas delgadas hasta nuevas cotas.

Objetivo

The fast growing thin and ultra-thin film industries largely rely on modern vacuum-based processes, which often exhibit fast and slow process gas composition changes and drifts. Such changes are undesirable and can result in reproducibility and product quality issues. Various control strategies, relying on proper monitoring systems (such as Gas Analysis Systems [GAS]), can be employed to stabilise production processes at the desired working point by regulating gas flow and thus adjusting gas composition. However, currently existing GAS are rather limited and there is no solution available on the market that provides gas composition information reliably in the process pressure range between 0.1 and 10,000 mTorr as well as provide 24/7 non-stop operation. Furthermore, ultra-thin film market has been exponentially growing: by 2024 it is expected to grow at CAGR of 15.1%; up to €99.78 bn. Due to the growing demand for reliable wide-range GAS solving the existing shortcomings, Nova Fabrica has developed a miniature high-frequency plasma-OES-based gas analysis system INTELEG® S HF. It enables to measure the gas composition of vacuum-based processes in the pressure range from 0.1 up to 10,000 mTorr. It is expected that INTELEG® S HF will be the first single GAS instrument in the world capable to provide process gas analysis for PVD, CVD, ALD, IAD, etc., as well as for processes taking place in even lower vacuum at pressures up to 10,000 mTorr. Comparing to competing solutions, a breakthrough INTELEG® S HF solution offers a true global “down-stream” process gas analysis, 24/7 operation, 100,000 hours of mean time before failure, fulfilment of industry 4.0 requirements, competitive price, has no production downtime and is maintenance-free. The main objectives of Phase 1 of SME Instrument are to develop an elaborate feasibility study including technical feasibility testing, IPR strategy and business plan – crucial steps towards successful commercialisation of the solution.

Convocatoria de propuestas

H2020-EIC-SMEInst-2018-2020

Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Convocatoria de subcontratación

H2020-SMEInst-2018-2020-1

Régimen de financiación

SME-1 - SME instrument phase 1

Coordinador

UAB NOVA FABRICA
Aportación neta de la UEn
€ 50 000,00
Dirección
LAISVES G 44
30106 IGNALINA
Lituania

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Pyme

Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención.

Región
Lietuva Vidurio ir vakarų Lietuvos regionas Utenos apskritis
Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Enlaces
Coste total
€ 71 429,00