Descrizione del progetto
Una tecnologia radicalmente nuova per il controllo di processi aiuterà a ottimizzare la deposizione di film sottili
I film sottili e ultrasottili sono strati di materiale/i depositati su un substrato sfuso per modificarne o migliorarne le proprietà. Il loro spessore è compreso tra un micrometro e frazioni di nanometro, e il loro mercato sta crescendo in applicazioni ad alta tecnologia come i dispositivi semiconduttori, le nanotecnologie, l’optoelettronica e i dispositivi medici e ambientali. La deposizione di questi strati molto sottili è complessa e viene eseguita usando svariate tecniche, molte delle quali sono impiegate in una camera a vuoto. Il progetto INTELEG S HF, finanziato dall’UE, sta sviluppando un sistema pionieristico di analisi dei gas per il controllo di processi in tutti gli ambienti pertinenti, che porterà verso nuove vette il fiorente mercato dei film sottili.
Obiettivo
The fast growing thin and ultra-thin film industries largely rely on modern vacuum-based processes, which often exhibit fast and slow process gas composition changes and drifts. Such changes are undesirable and can result in reproducibility and product quality issues. Various control strategies, relying on proper monitoring systems (such as Gas Analysis Systems [GAS]), can be employed to stabilise production processes at the desired working point by regulating gas flow and thus adjusting gas composition. However, currently existing GAS are rather limited and there is no solution available on the market that provides gas composition information reliably in the process pressure range between 0.1 and 10,000 mTorr as well as provide 24/7 non-stop operation. Furthermore, ultra-thin film market has been exponentially growing: by 2024 it is expected to grow at CAGR of 15.1%; up to €99.78 bn. Due to the growing demand for reliable wide-range GAS solving the existing shortcomings, Nova Fabrica has developed a miniature high-frequency plasma-OES-based gas analysis system INTELEG® S HF. It enables to measure the gas composition of vacuum-based processes in the pressure range from 0.1 up to 10,000 mTorr. It is expected that INTELEG® S HF will be the first single GAS instrument in the world capable to provide process gas analysis for PVD, CVD, ALD, IAD, etc., as well as for processes taking place in even lower vacuum at pressures up to 10,000 mTorr. Comparing to competing solutions, a breakthrough INTELEG® S HF solution offers a true global “down-stream” process gas analysis, 24/7 operation, 100,000 hours of mean time before failure, fulfilment of industry 4.0 requirements, competitive price, has no production downtime and is maintenance-free. The main objectives of Phase 1 of SME Instrument are to develop an elaborate feasibility study including technical feasibility testing, IPR strategy and business plan – crucial steps towards successful commercialisation of the solution.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria dei materiali rivestimenti e pellicole
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria elettronica sensori
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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H2020-EU.2.3. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Innovation In SMEs
PROGRAMMA PRINCIPALE
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H2020-EU.3. - PRIORITY 'Societal challenges
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H2020-EU.2.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
SME-1 - SME instrument phase 1
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) H2020-EIC-SMEInst-2018-2020
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
30106 IGNALINA
Lituania
L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.