Ziel
Epichem have been successful in identifying the optimum precursors for MOVPE of SiC layers and establish production methods capable of yielding ultra high purity batches of these materials. Furthermore analytical sensitivities for key impurities have been improved. Supply of source material to growth teams has been maintained throughout the project.
Data on the resistivity and piezoresisitive effect of high quality SiCOIN films has been successfully collected. Extensive characterization of SiCOIN films by HALL measurements was done. Two sensor concepts were developed: a high-pressure sensor (up to P = 2000 bar) for oil well logging applications and a low-pressure sensor (up to P = 12 bar) for turbine control or avionics applications. Both concepts were optimised by FE analyses. Sensors of both types were successfully fabricated and special 3C-SiC deposition techniques (selective deposition, deposition on structured substrates) were developed.
In the proposed project a material system consisting of a
single crystalline B SiC layer deposited by CVD on an SOI
(Silicon On Insulator) substrate will be developed for
the fabrication of various high temperature sensor
devices. For the deposition and doping of the SiC layers
special low temperature (T<1000 C) precursors will be
developed, to obtain the lowest possible deposition
temperatures. The advantage of the SiC on SOI system is
that the SiC layer is electrically insulated from the Si
substrate by a thin oxide layer since the thin Si
overlayer of the SOI substrates converts during a
carbonization step into single crystalline SiC. However,
the bulk micromachining capabilities of the Si substrate,
necessary for the fabrication of sensor devices, will
remain unchanged.
To determine the quality of the layers and to optimize
the process extensive analysis (e.g. XRD, TEM, AFM, and
optical and electrical characterization) will be
performed. To demonstrate the applicability of this
material system (SiC On INsulatoroSiCOIN) for sensors, a
number of sensors such as pressure, vibration and
position sensors will be developed that will be tested by
the industrial partners under real industrial conditions
such as in automotive or oil well logging applications.
The processes necessary for the technological realization
of the sensors (CVD of in situ doped, B SiC layers on
pure Si substrates, oxidation, dry etching, ion
implantation and metallization) have been developed
within the former BRITE/EURAM basic research programme
TECSICA (Technology and Characterisation of Silicon
Carbide films for high temperature Applications).
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie anorganische Verbindungen
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
81663 München
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.