CORDIS bietet Links zu öffentlichen Ergebnissen und Veröffentlichungen von HORIZONT-Projekten.
Links zu Ergebnissen und Veröffentlichungen von RP7-Projekten sowie Links zu einigen Typen spezifischer Ergebnisse wie Datensätzen und Software werden dynamisch von OpenAIRE abgerufen.
Verwertbare Ergebnisse
Virtual substrates with thin (sub 100nm) SiGe strain relaxed buffers containing 35% and 50%Ge for n-MOSFET's were elaborated. Using very low temperature growth stage and Sb surfactants, high relaxation degrees and smooth surface were achieved. Strain relaxed buffers were characterised by atomic force microscopy, X-ray diffraction, Raman spectroscopy, SIMS, optical microscopy with Nomarski contrast before and after delicate chemical etching, and TEM. The influence of layer composition and growth conditions on the degree of relaxation, surface morphology and defect formation was studied.
Suche nach OpenAIRE-Daten ...
Bei der Suche nach OpenAIRE-Daten ist ein Fehler aufgetreten
Es liegen keine Ergebnisse vor