10 Angstrom CMOS exploration

Información del proyecto

10ACe

Identificador del acuerdo de subvención: 101139972

DOI 10.3030/101139972

Fecha de la firma de la CE 17 Mayo 2024

Fecha de inicio 1 Mayo 2024

Fecha de finalización 30 Abril 2027

Financiado con arreglo a

• Digital, Industry and Space

Coste total € 97 951 886,50

Aportación de la UE € 23 912 755,63

Coordinado por

ASML NETHERLANDS B.V.
Netherlands

Descripción del proyecto

Semiconductores revolucionarios para mejorar los chips de CMOS de 10 A

El diseño y el desarrollo de chips son cruciales para la innovación y el avance del «hardware» y el «software» en la mayoría de los sectores. La creación de semiconductores nuevos, la reducción del tamaño y una mayor rentabilidad pueden revolucionar la industria. El equipo del proyecto 10ACe, financiado con fondos europeos, pretende explorar y desarrollar soluciones novedosas para avanzar en la tecnología de los chips de CMOS de 10 A. Para ello, cuenta con la colaboración de un consorcio que abarca toda la cadena de valor del chip, con el objetivo de utilizar «hardware» y «software» novedosos para revolucionar el diseño de los semiconductores, respetando al mismo tiempo la ley de Moore. El consorcio se centrará en cuatro pilares de diseño: la mejora de los equipos litográficos, la optimización del diseño de chips y máscaras, la mejora del procesamiento y la caracterización de los procesos de alto rendimiento.

Objetivo

The objective of the 10Ce pThe objective of the 10Ce project is to explore and realize solutions for the 10 CMOS chip technology. Its consortium covers the entire value chain for manufacturing of the CMOS chips in the 10A node, that is, from chip design to lithography to process technology and finally chip metrology. Essential parts of hardware, software and processing technology are developed pushing the boundaries of semiconductor design and manufacture to enable the new node and keep Moores law alive.

The 10Ce project is built based on the following four pillars.

Lithography Equipment: ASML and expert EUV partners Zeiss, FastMicro, IOM, Plasma Matters, TNO, TU/e, University of Twente and VDL-ETG will:
Increase key performance indicators of the EUV tool, to enable smaller pitches and increase yield.
Increase sustainability of the EUV tool, both during production as well as increasing the times a module in an EUV tool can be refurbished.

Chip design and mask optimization: Imec with the involvement of expert imaging , CAD and IP design partners ARM, ASML and Siemens will:
Assess the impact of the introduction of 3D mCFET on chip design: in terms of power, performance and area.
Development of new computational lithography solutions to print 10 CFET structures, to improve imaging by next generation mask design.

Process Technology: As the ultimate device for logic, the CFET architecture is proposed and Imec and expert partners Coventor, EVG, IBS, Intel, JSR, LAM, RECIF, TEL, Zeiss and Wooptix will:
Demonstrate a fully functional monolithic CFET (mCFET)
Increase sustainability of the chip manufacturing process, across the manufacturing process and including resist material development.
Process characterization: Applied Materials and expert partners Thermofisher, Nova, KLA and Bruker will:
Explore and realize high throughput and sample density per wafer, for the analysis, characterization for 10 3D CFET devices, interconnect and materials

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural.

• ciencias naturales › informática y ciencias de la información › software
• ingeniería y tecnología › ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información › ingeniería electrónica › sensores › sensores ópticos
• ciencias naturales › ciencias físicas › electromagnetismo y electrónica › dispositivo semiconductor
• ciencias sociales › derecho

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Palabras clave

• Chips
• semiconductors
• equipment
• process technology
• process metrology

Programa(s)

• HORIZON.2.4 - Digital, Industry and Space Main Programme
• HORIZON.2.4.2 - Key Digital Technologies

Tema(s)

• HORIZON-KDT-JU-2023-1-IA-Topic-1 - General according to ECS-SRIA 2022 (IA)

Convocatoria de propuestas

HORIZON-KDT-JU-2023-1-IA

Régimen de financiación

HORIZON-JU-IA - HORIZON JU Innovation Actions

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.

• Aportación neta de la UEn: € 2 700 000,00
• Dirección: DE RUN 6501 ; 5504DR Veldhoven ; Países Bajos
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 13 500 000,00

Participantes (30)

APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 843 750,00
• Dirección: OPPENHEIMER STREET 9 ; 76705 Rehovot
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 4 218 750,00

ARM FRANCE SAS

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 326 250,00
• Dirección: 732 AVENUE ROUMANILLE BAT B ; 06410 BIOT
• Región: Provence-Alpes-Côte d’Azur › Provence-Alpes-Côte d’Azur › Alpes-Maritimes
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 631 250,00

ASML BELGIUM BVBA

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 300 000,00
• Dirección: KALMTHOUTSESTEENWEG 100 ; 2919 Essen
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Antwerpen › Arr. Antwerpen
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 500 000,00

ASML BERLIN GMBH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 872 750,00
• Dirección: WALDKRAIBURGER STRASSE 5 ; 12347 Berlin
• Región: Berlin › Berlin › Berlin
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 4 363 750,00

BRUKER TECHNOLOGIES LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 399 250,00
• Dirección: 6 HAMECHKAR STREET RAMAT GAVRIEL INDUSTRIAL ZONE ; 2306990 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 996 250,00

CARL ZEISS SMT GMBH

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 2 091 280,00
• Dirección: RUDOLF EBER STRASSE 2 ; 73447 Oberkochen
• Región: Baden-Württemberg › Stuttgart › Ostalbkreis
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 10 456 400,00

CARL ZEISS SMS LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 512 250,00
• Dirección: 3 DOLEV STR BARLEV INDUSTRIAL PARK MISGAV ; 2015600 BAR LEV
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 561 250,00

COVENTOR SARL

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 254 525,50
• Dirección: 1 RUE MARCEL PAUL ; 91300 MASSY
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Ile-de-France › Ile-de-France › Essonne
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Essonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 272 627,50

EV GROUP E. THALLNER GMBH

Austria

• Aportación neta de la UEn: € 379 870,00
• Dirección: DI ERICH THALLNER STRASSE 1 ; 4782 St Florian Am Inn
• Región: Westösterreich › Oberösterreich › Innviertel
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 899 350,00

FASTMICRO BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 350 062,50
• Dirección: SPAARPOT 3 ; 5667 KV Geldrop
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 166 875,00

ION BEAM SERVICES

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 238 143,90
• Dirección: RUE GASTON IMBERT PROLONGEE ; 13790 Rousset
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Provence-Alpes-Côte d’Azur › Provence-Alpes-Côte d’Azur › Bouches-du-Rhône
• Región: Provence-Alpes-Côte d’Azur › Provence-Alpes-Côte d’Azur › Bouches-du-Rhône
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 793 813,00

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 6 976 879,35
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 19 933 941,00

LEIBNIZ-INSTITUT FUR OBERFLACHENMODIFIZIERUNG EV

Alemania

• Aportación neta de la UEn: € 349 818,44
• Dirección: PERMOSERSTRASSE 15 ; 04318 Leipzig
• Región: Sachsen › Leipzig › Leipzig
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 999 481,25

INTEL RESEARCH AND DEVELOPMENT IRELAND LIMITED

Irlanda

• Aportación neta de la UEn: € 0,00
• Dirección: COLLINSTOWN INDUSTRIAL PARK ; W23 Leixlip
• Región: Ireland › Eastern and Midland › Mid-East
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

JSR MICRO NV

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 116 354,00
• Dirección: TECHNOLOGIELAAN 8 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 581 770,00

KLA-TENCOR CORPORATION (ISRAEL)

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 617 500,00
• Dirección: HATIKSHORET ST. ; 23100 Migdal Haemek
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 087 500,00

LAM RESEARCH AG

Austria

• Aportación neta de la UEn: € 753 574,00
• Dirección: SEZ-STRASSE 1 ; 9500 Villach
• Región: Südösterreich › Kärnten › Klagenfurt-Villach
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 767 870,00

LAM RESEARCH BELGIUM

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 595 949,00
• Dirección: KAPELDREEF 75 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 979 745,00

NOVA LTD

Israel

• Aportación neta de la UEn: € 603 750,00
• Dirección: 5 DAVID FIKES ST ; 76100 REHOVOT
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 018 750,00

PLASMA MATTERS B.V.

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 349 500,00
• Dirección: DE ZAALE, FLUX 3.083 ; 5600 MB Eindhoven
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 165 000,00

RECIF TECHNOLOGIES

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 313 224,00
• Dirección: rue des briquetiers 9 ; 31700 Blagnac
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Región: Occitanie › Midi-Pyrénées › Haute-Garonne
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 566 120,00

SIEMENS ELECTRONIC DESIGN AUTOMATION SARL

Francia

• Aportación neta de la UEn: € 310 450,00
• Dirección: 13-15 RUE JEANNE BRACONNIER IMMEUBLE LE PASTEUR ; 92360 Meudon La Foret
• Región: Ile-de-France › Ile-de-France › Hauts-de-Seine
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 831 893,75

Tercero

Entidad jurídica distinta de un subcontratista que está afiliada o vinculada jurídicamente con un participante. Dicha entidad lleva a cabo su trabajo en las condiciones establecidas en el acuerdo de subvención, proporciona bienes o presta servicios para la acción, pero no firma dicho acuerdo. El tercero acata las normas aplicables a su participante en virtud del acuerdo de subvención en lo que respecta a la subvencionalidad de los costes y el control de los gastos.

SIEMENS INDUSTRY SOFTWARE A LIMITEDLIABILITY COMPANY UNDER THE PRIVATEFREE ZONES REGIME

Egipto

• Aportación neta de la UEn: € 55 928,75
• Dirección: CAIRO FESTIVAL SOUTHERN DISTRICT LO ; 11835 New Cairo
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos

SIEMENS INDUSTRY SOFTWARE NV

Bélgica

• Aportación neta de la UEn: € 320 300,00
• Dirección: INTERLEUVENLAAN 68 ; 3001 Leuven
• Región: Vlaams Gewest › Prov. Vlaams-Brabant › Arr. Leuven
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 601 500,00

FEI ELECTRON OPTICS BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 714 000,00
• Dirección: ACHTSEWEG NOORD GEBOUW AAE 5 ; 5651 GG Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 3 570 000,00

NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 717 892,44
• Dirección: ANNA VAN BUERENPLEIN 1 ; 2595 DA Den Haag
• Tipo de actividad: Research Organisations
• Coste total: € 2 051 121,25

TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 342 342,00
• Dirección: GROENE LOPER 3 ; 5612 AE Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 978 120,00

UNIVERSITEIT TWENTE

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 575 697,50
• Dirección: DRIENERLOLAAN 5 ; 7522 NB Enschede
• Región: Oost-Nederland › Overijssel › Twente
• Tipo de actividad: Higher or Secondary Education Establishments
• Coste total: € 1 644 850,00

VDL ETG TECHNOLOGY & DEVELOPMENT BV

Países Bajos

• Aportación neta de la UEn: € 425 416,75
• Dirección: SCHAKEL 22 ; 5651 GH Eindhoven
• Región: Zuid-Nederland › Noord-Brabant › Zuidoost-Noord-Brabant
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 2 127 083,75

WOOPTIX SL

España

• Aportación neta de la UEn: € 506 047,50
• Dirección: CALLE VELAZQUEZ, 110 ; 28009 MADRID
• Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí:
  Región
  Comunidad de Madrid › Comunidad de Madrid › Madrid
• Región: Comunidad de Madrid › Comunidad de Madrid › Madrid
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: € 1 686 825,00

Socios (1)

Socio

Las organizaciones asociadas contribuyen a la aplicación de la acción, pero no firman el acuerdo de subvención.

TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED

Reino Unido

• Aportación neta de la UEn: € 0,00
• Dirección: PIONEER CRAWLEY BUSINESS QUARTER FLEMING WAY ; RH10 9QL Crawley
• Región: South East (England) › Surrey, East and West Sussex › West Sussex (North East)
• Tipo de actividad: Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
• Coste total: Sin datos