CORDIS proporciona enlaces a los documentos públicos y las publicaciones de los proyectos de los programas marco HORIZONTE.
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Publicaciones
Autores:
Qinglin Zeng, Dongbo Xu, Xuefeng Zeng, Werner Gillijns, Edita Tejnil, Yuyang Sun, Germain Fenger
Publicado en:
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2024, 2024
Editor:
SPIE
DOI:
10.1117/12.3034957
Autores:
Dongbo Xu, Werner Gillijns, Shruti Jambaldinni, Soobin Hwang, Anuja De Silva, Germain Fenger
Publicado en:
DTCO and Computational Patterning IV, 2025
Editor:
SPIE
DOI:
10.1117/12.3051855
Autores:
Ana-Maria Armeanu, Nick Pellens, Vicky Philipsen, Evgeny Malankin, Dongbo Xu, Keisuke Mizuuchi, Gabriel Curvacho, Chih-I Wei, Neal V. Lafferty, Germain L. Fenger
Publicado en:
39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 2024
Editor:
SPIE
DOI:
10.1117/12.3031718
Autores:
Dongbo Xu, Qinglin Zeng, Werner Gillijns, Xuefeng Zeng, Yuyang Sun, Germain L. Fenger
Publicado en:
Optical and EUV Nanolithography XXXVIII, 2025
Editor:
SPIE
DOI:
10.1117/12.3051285
Autores:
Peter Birtel, Erik Rohkamm, Jens Bauer, Frank Frost
Publicado en:
Surfaces and Interfaces, Edición 64, 2025, ISSN 2468-0230
Editor:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/J.SURFIN.2025.106306
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