10 Angstrom CMOS exploration

Informazioni relative al progetto

10ACe

ID dell’accordo di sovvenzione: 101139972

DOI 10.3030/101139972

Data della firma CE 17 Maggio 2024

Data di avvio 1 Maggio 2024

Data di completamento 30 Aprile 2027

Finanziato da

• Digital, Industry and Space

Costo totale € 97 951 886,50

Contributo UE € 23 912 755,63

Coordinato da

ASML NETHERLANDS B.V.
Paesi Bassi

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Pubblicazioni

Articoli sottoposti a revisione paritaria (1)

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Autori: Peter Birtel, Erik Rohkamm, Jens Bauer, Frank Frost
Pubblicato in: Surfaces and Interfaces, Numero 64, 2025, ISSN 2468-0230
Editore: Elsevier BV
DOI: 10.1016/J.SURFIN.2025.106306