Cel
"The program MEMS MATURITY has four goals:
1/ To miniaturize the high performance gyro cell, Gyrix, of the SFWA (Smart Fixed Wings Aircraft) partner
2/ To identify the critical paramaters of the process that influence the cell performance
3/ To assess the impact of the variability of the critical parameters on the cell performance
4/ To optimize the process for a repeatable manufacturing and to deliver 20 optimized Gyro cells to evaluate their performances in the sensor operational environment together with the SFWA partner.
To reach these goals, TRONICS will use and improve the best state-of-the-art technology for high-performance low-drift inertial sensors. Its main features are:
• Mechanical structures achieved in thick (> 60 µm) single crystal material, starting from thick SOI substrate.
• Mechanical structures etched, in the top thick SOI layer, using a notch-free, highly-vertical, accurate (<0.2 µm accuracy) Deep Reactive Ion Etching (DRIE) process, thanks to the latest generation of DRIE processes.
• Wafer level packaging of the MEMS structure with a silicon cap, bonded through Silicon Direct Bonding, Si-Si or Si-SiO2-Si, avoiding any intermediate heterogeneous material such as a metal sealing.
• Stable high-vacuum environment ensured thanks to long-term-stable high-vacuum (<10-3 mbar) ceramic package, including getter technology that maintain performance over the product lifetime (lifetime > 20 years).
• Die-attach of the MEMS chip in the package with non-degasing metallic alloy preform, and stress decoupling structures.
TRONICS has defined a complete work plan to adress the main goals of the program. The overall final objective of this program is also to develop an industial manufacturing environement for the Gyrix cell object of this program. This environement should meet the performances needed for civil aeronautic applications.
Durring this program, TRONICS will also improve the maturity of the Gyrix cell to bring it to a TRL5 level."
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- inżynieria i technologia przemysł maszynowy inżynieria pojazdów inżynieria lotnicza i kosmiczna samolot
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna czujniki
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Przepraszamy… podczas wykonywania operacji wystąpił nieoczekiwany błąd.
Wymagane uwierzytelnienie. Powodem może być wygaśnięcie sesji.
Dziękujemy za przesłanie opinii. Wkrótce otrzymasz wiadomość e-mail z potwierdzeniem zgłoszenia. W przypadku wybrania opcji otrzymywania powiadomień o statusie zgłoszenia, skontaktujemy się również gdy status ulegnie zmianie.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
SP1-JTI-CS-2012-01
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
38920 CROLLES
Francja
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.