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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-16

Metal-Organic Research for Semiconductor Epitaxy

Ziel

The MORSE project aims to develop novel non-toxic precursors and to test their quality by MOVPE and CBE.
The overall project objectives are to: develop new, better suited group III and V precursors for metal organic vapour phase epitaxy (MOVPE) and chemical beam epitaxy (CBE) growth applications. The precursor studies aim to identify new source materials which provide both improved operational characteristics (primarily vapour pressure, stability and toxicity) and also reduced unintentional impurity uptake in the resulting epitaxial layers; and to appraise the new CBE technique for the growth of advanced III-V demonstrator devices such as gallium arsenide/gallium aluminium arsenide and gallium arsenide/gallium indium phosphide heterojunction bipolar transistors (HBT) in order to allow direct comparison with corresponding devices produced using the present generation molecular beam epitaxy (MBE) and MOVPE growth processes. Alternative new liquid organic precursors have been synthesized and characterized. Studies on biphosphinoethane (BPE) or tertiary butyl phosphine (TBP) and tertiary butyl arsine (TBAs) had led to the conclusion that state of the art, highly uniform multiple quantum well (MQW) laser structures can be grown using these much safer precursors.
Diethyl-aluminium-hydride-trimethylamine (DEAlH-NMe3) appears to be the best suited new aluminium precursor, with higher vapour pressure than TEAL (x 5), and low carbon and oxygen contamination when tested in CBE.
Studies on indium prescursors concentrated on dimethylaminopropy-dimethyl-indium (DADI). This compound is a promising candidated, being liquid at room temperature and having a high vapour pressure comparable to that of TEIn. High quality indium phosphide has been reproducibly grown with best low temperature mobilities of u(77 k) greater than 110000 cm{2} V{-1} s{-1}.
Preliminary experiments have been conducted on the growth of gallium indium phosphide with TBP. As observed in the case of indium phosphide, carbon concentrations are strongly reduced by using TBP instead of phosphide. No significant differ ence is noted for the sulphur, silicon and oxygen levels.
High n-type doping of CBE gallium arsenide and gallium indium phosphide has been successfully achieved using concentrated sources of disilane and hydrogen sulphide. Thanks to its higher incorporation efficiency with lower memory effect, hydrogen sulphide preferred to disilane as n-type dopant for both gallium arsenide and gallium indium phosphide. An ultra-high level gallium arsenide p-type doping capability has also been established using the TMGa precursor for specific application to the base region of the HBT device.
The overall objectives were to:

- develop new, better suited group III and V precursors for MOVPE (metal organic vapour phase epitaxy) and CBE (chemical beam epitaxy) growth applications. The precursor studies aim to identify new source materials which provide both improved operational characteristics (primarily vapour pressure, stability and toxicity) and also reduced unintentional impurity uptake in the resulting epitaxial layers.
- appraise the new CBE technique for the growth of advanced III-V demonstrator devices such as GaAs/GaAlAs and GaAs/GaInP HBT, in order to allow direct comparison with corresponding devices produced using the present-generation MBE (molecular beam epitaxy) and MOVPE growth processes.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

Daten nicht verfügbar

Koordinator

Thomson CSF
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
Domaine de Corbeville
91404 Orsay
Frankreich

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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (9)

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