Metrology for future 3D-technologies

Informacje na temat projektu

METRO4-3D

Identyfikator umowy o grant: 688225

DOI 10.3030/688225

Projekt został zamknięty

Data podpisania przez KE 25 Listopada 2015

Data rozpoczęcia 1 Lutego 2016

Data zakończenia 31 Stycznia 2019

Finansowanie w ramach

• INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)

Koszt całkowity € 3 349 813,75

Wkład UE € 2 689 035,00

Koordynowany przez

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

Rezultaty

Documents, reports (5)

Report on organized training on the instrument
Report on dissemination activities
Summary of the access time on the instruments
Report 2 on dissemination activities

Report on dissemination activities

Report documenting the detailed technical specifications of the individual components

Websites, patent fillings, videos etc. (1)

Set-up of the website and strategic board

Publikacje

Peer reviewed articles (1)

Accretion Detection via Scanning Acoustic Microscopy in Microelectronic Components - Considering Symmetry Breaking Effects

Autorzy: Eva Grünwald, René Hammer, Jördis Rose, Bernhard Sartory, Roland Brunner
Opublikowane w: Microscopy and Microanalysis, Numer 23/S1, 2017, Strona(/y) 1466-1467, ISSN 1431-9276
Wydawca: Cambridge University Press
DOI: 10.1017/S1431927617007991