Zaawansowane biochemiczne wyczuwanie masowe
Dzięki rozwojowi procesów i technik nanotechnologicznych, w ramach projektu NANOMASS II można było zastosować technologię układów CMOS do produkcji mechanicznych czujników masowych. Nowatorskie czujniki są oparte na matrycy wsporników krzemowych o wielkości mierzonej w nanometrach i znajdą zastosowania środowiskowe lub biochemiczne. W celu produkcji nanowsporników wykorzystano innowacyjne techniki nanolitografii i nowatorskie substraty SOI (krzem na izolatorze). Do celów optymalizacji zastosowano nanolitografię mikroskopii laserowej lub sił atomowych. Z drugiej strony, w celu oceny możliwości zmniejszenia wymiarów i zwiększenia przepustowości zastosowano litografię z wiązką elektronów i litografię z nanoszeniem w skali nano. Wprowadzenie substratów SOI do produkcji półprzewodników poprzez zastąpienie zwykłych substratów krzemowych pozwoliło zwiększyć wydajność i zmniejszyć geometrię wspornika. Stworzono wersje demonstracyjne ultracienkich nanowsporników AI (aluminiowych) oraz określono ich charakterystykę na potrzeby zastosowań wyczuwania masowego. Produkcja obejmowała etap litografii z użyciem negatywnego promieniowania ultrafioletowego, a charakterystykę określono za pomocą skanującego mikroskopu elektronowego. Proces produkcji jest zgodny z technologią CMOS i niedrogi i umożliwia pełną kontrolę nad grubością wspornika w skali nano. W porównaniu z krzemowymi wspornikami z monokryształu, aluminiowe nanowsporniki zapewniają wysoką czułość masową, i mogą być przydatne w dziedzinie wyczuwania masowego. Więcej informacji na temat projektu znajduje się na stronie: http://einstein.uab.es/_c_nanomass/
