Nowa, tańsza technologia mikroskopów SEM
Komercyjne mikroskopy SEM są duże i drogie. Chociaż istniały teorie naukowe dotyczące zmniejszenia rozmiaru urządzeń i tym samym minimalizacji wymagań energetycznych i aberracji obrazu, to dopiero najnowsze osiągnięcia w technologii nanoobróbki umożliwiły zbudowanie takich urządzeń. Europejscy naukowcy biorący udział w ambitnym projekcie "Ultrajasny nanoskalowy mikroskop SEM na układzie scalonym" (Monarch) podjęli się tego trudnego zadania, tj. zbudowania pierwszego w historii subminiaturowego mikroskopu SEM na układzie scalonym. Otrzymane urządzenie ma zaledwie 5 mikrometrów długości (ludzki włos ma grubość ok. 50 mikrometrów), pracuje na mniejszym napięciu i pozwala uzyskać rozdzielczość atomową o rząd wielkości wyższą niż aktualni używane SEM, przy wielokrotnie mniejszych kosztach. Możliwość niskoenergetycznego uzyskania wiązki elektronowej o bardzo dużej mocy i bardzo dużej czystości pozwala po raz pierwszy na szybkie skanowanie warstwy powierzchniowej i identyfikację pierwiastkową w rozdzielczości atomowej. Osiągnięcie to będzie miało ogromny wpływ na takie dziedziny, jak sekwencjonowanie genów, systemy magazynowania danych o bardzo dużej gęstości czy trawienie jonowe, i wiele innych. Co niezwykle ważne, teraz możliwe będzie komercyjne nanowzorcowanie urządzeń elektronicznych przy pomocy wiązek elektronowych. Ambitny projekt Monarch dostarczył pierwszych submikroskopowych SEM, które można wbudować na układ scalony i które mają rozdzielczość o rząd wielkości wyższą niż istniejące SEM, przy znacznie mniejszych kosztach. Urządzenie ma szansę zrewolucjonizować nanonauki i technologie oparte na wiązkach elektronowych, a także będzie miało dalekosiężne, trudne do przecenienia skutki dla konkurencyjności europejskich przedsiębiorstw.
