Veröffentlichungen
Autoren:
Jan van Schoot
Veröffentlicht in:
Photomask Japan, Ausgabe 2023, 2023
Herausgeber:
SPIE
DOI:
10.1117/12.3012436
Autoren:
Greet Storms, Sjoerd Lok, Rob van Ballegoij, Jan van Schoot, Rudy Peeters, Diederik de Bruin, Kars Troost, Teun van Gogh
Veröffentlicht in:
SPIE Advanced Lithography + Patterning, 2022, San Jose, California, United States, 2022
Herausgeber:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2617240
Autoren:
Rudy Peeters
Veröffentlicht in:
SPIE Advanced Lithography + Patterning, Ausgabe 23 April 2023, 2023
Herausgeber:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2658381
Autoren:
Jan van Schoot
Veröffentlicht in:
Photomask Japan 2022, 2022, Online Only, 2022
Herausgeber:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2656140
Autoren:
Kaustuve Bhattacharyya, Diederik de Bruin, Rudy Peeters, Jara Garcia Santaclara, Herman Heijmerikx, Rob van Ballegoij, Eelco van Setten, Jan van Schoot, Sjoerd Lok, Greet Storms, Peter Vanoppen
Veröffentlicht in:
EUVL Conference 2023, 2023
Herausgeber:
SPIE
Autoren:
Jara Garcia Santaclara
Veröffentlicht in:
SPIE Photomask Technology + EUV Lithography, 2023
Herausgeber:
SPIE
Autoren:
A. Erdmann
Veröffentlicht in:
Keynote Talk EUVL Symposium, 2023
Herausgeber:
EUVL Symposium
Autoren:
Molkenboer, F.T.
Kerkhof, P.J.
Burema, A.
Haasnoot, H.
Velthuis, J.F.M.
Hooftman, T.
Kerkhof, P.J.
Lensen, H.A
Veröffentlicht in:
2022
Herausgeber:
IVC22, 22nd International Vacuum Congress (https://ivc22.org/)
Autoren:
H. Mesilhy, P. Evanschitzky, A. Erdmann
Veröffentlicht in:
Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop, 2023
Herausgeber:
Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop
Autoren:
A. Erdmann, H. Mesilhy, P. Evanschitzky, G. Bottiglieri, T. Brunner, E. van Setten, C. van Lare, M- van de Kerkhof
Veröffentlicht in:
Photomask Japan, 2023
Herausgeber:
Photomask Japan
Autoren:
H. Mesilhy, Z. Belete, P. Evanschitzky, A. Erdmann
Veröffentlicht in:
EMLC Conference, 2023
Herausgeber:
EMLC Conference
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