14 Angstroms Module Integration

Projektinformationen

14AMI

ID Finanzhilfevereinbarung: 101111948

DOI

10.3030/101111948

EK-Unterschriftsdatum 10 Mai 2023

Startdatum 1 Mai 2023

Enddatum 31 Oktober 2026

Finanziert unter

• Digital, Industry and Space

Gesamtkosten

€ 108 927 481,90

EU-Beitrag

€ 24 954 145,00

Koordiniert durch

ASML NETHERLANDS B.V.
Netherlands

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Veröffentlichungen

Conference proceedings (16)

Optimization of deformable mirror actuator geometry using machine learning methods

Autoren: Oleg Soloviev
Veröffentlicht in: Proceedings Volume 13328, Adaptive Optics and Wavefront Control for Biological Systems XI, 2025
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.3042094

Time-resolved characterization and analysis of pulsed ion sources by synchronized oaTOF-MS

Autoren: Franziska Schuler, Joshua Rieger, Maja Hammelrath, Sanna Benter, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA, 2024
Herausgeber: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA

Detection of ions generated in an intense pulsed EUV-light beam using different interfaces to a high-resolution TOF-MS

Autoren: Niklas Pengemann, Sanna Benter, Maja Hammelrath, Joshua Rieger, Franziska Schuler, Adelind Elshani, Linus Nagel, Ismael Gisch, Hendrik Kersten, Sascha Brose, Carlo Holly, Peter Gust, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA, 2024
Herausgeber: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA

Analysis of EUV-induced plasma ions using an ion transfer upstream a high resolution TOF-MS

Autoren: Niklas Pengemann, Sanna Benter, Laura Lehmann, Lena Mokros, Franziska Schuler, Linus Nagel, Adelind Elshani, Sascha Brose, Hendrik Kersten, Peter Gust, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany, 2025
Herausgeber: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany

Scatterometry-informed machine learning study to determine bi-directional intercorrelation of adjacent patterning steps

Autoren: Padraig R. Timoney, Stefan Schoeche, Daniel Schmidt, Will Parkin, Aron Cepler, Ilya Osherov, Amit Godel, Igor Turovets
Veröffentlicht in: Metrology, Inspection, and Process Control XXXIX, 2025
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.3051497

Development and Characterization of Pulsed Ion Sources Coupled to oaTOFs

Autoren: Franziska Schuler, Joshua Rieger, Maja Hammelrath, Sanna Benter, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 55th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2024, Freising, Germany, 2024
Herausgeber: 55th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2024, Freising, Germany

Detection of Ions generated in an intense pulsed EUV-light beam using different interfaces to a high resolution TOF-MS

Autoren: Niklas Pengemann, Sanna Benter, Maja Hammelrath, Joshua Rieger, Franziska Schuler, Adelind Elshani, Linus Nagel, Ismael Gisch, Hendrik Kersten, Sascha Brose, Carlo Holly, Peter Gust, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 55th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2024, Freising, Germany, 2024
Herausgeber: 55th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2024, Freising, Germany

Probing ions from deeply embedded plasmas: From simulation to realization Investigation of a novel long distance ion transfer unit

Autoren: Sanna Benter, Lena Mokros, Markus Langner, Niklas Pengemann, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA, 2024
Herausgeber: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA

Probing Ions from deeply embedded plasmas: Energy Distribution Analysis and Comparison of Ion Transfer

Autoren: Sanna Benter, Niklas Pengemann, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany, 2025
Herausgeber: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany

A Comparison between the Simulation Efficiency of a Poisson and Coulomb based Particle

Autoren: Markus Hübner, Walter Wißdorf, Franziska Schuler, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany, 2025
Herausgeber: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany

Intercomparison Study of two High-Resolution TOF-MS for Ultra-Trace Detection

Autoren: Lena Mokros, Niklas Pengemann, Sanna Benter, Joshua Rieger, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA, 2024
Herausgeber: Proceedings of the 72nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2024, Anaheim, CA, USA

Temporally Resolved Characterization of a Pulsed Ion Source using a Synchronized oaTOF-MS

Autoren: Franziska Schuler, Maja Hammelrath, Markus Hübner, Niklas Pengemann, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany, 2025
Herausgeber: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany

Further Development and Optimization of a Successfully Implemented Accumulation Ion Source

Autoren: Laura Lehmann, Niklas Pengemann, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany, 2025
Herausgeber: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany

Intercomparison Study of two High-Resolution TOF-MS for Ultra-Trace

Autoren: Lena Mokros, Niklas Pengemann, Joshua Rieger, Franziska Schuler, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 55th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2024, Freising, Germany, 2024
Herausgeber: 55th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2024, Freising, Germany

A Plasma/Electron Ionization Calibration Source for Absolute Ion Counting and Ion Density Measurements

Autoren: Lena Mokros, Niklas Pengemann, Sanna Benter, Michelle Rajkovic, Hendrik Kersten, Thorsten Benter
Veröffentlicht in: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany, 2025
Herausgeber: 56th Annual Conference of the German Society for Mass Spectrometry, 2025, Göttingen, Germany

Deformable mirror characterization using novel Phase Tilted Interferometry method

Autoren: Oleg Soloviev
Veröffentlicht in: Proceedings Volume 13329, Quantitative Phase Imaging XI, 2025
Herausgeber: SPIE
DOI: 10.1117/12.3041952

Peer reviewed articles (3)

Sequential wafer map inspection via feedback loop with reinforcement learning

Autoren: Aleksandr Dekhovich, Oleg Soloviev, Michel Verhaegen
Veröffentlicht in: Expert Systems with Applications, 2025, ISSN 0957-4174
Herausgeber: Elsevier
DOI: 10.1016/J.ESWA.2025.126996

Entropy stable hydrodynamic discretizations of the linearized Boltzmann equation

Autoren: Frimpong A. Baidoo, Torsten Keßler, Irene M. Gamba, Thomas J.R. Hughes, Michael R.A. Abdelmalik
Veröffentlicht in: Computer Methods in Applied Mechanics and Engineering, Ausgabe 450, 2026, ISSN 0045-7825
Herausgeber: Elsevier BV
DOI: 10.1016/J.CMA.2025.118650

Extensions to the Navier–Stokes–Fourier equations for rarefied transport: Variational multiscale moment methods for the Boltzmann equation

Autoren: F. A. Baidoo, I. M. Gamba, T. J. R. Hughes, M. R. A. Abdelmalik
Veröffentlicht in: Mathematical Models and Methods in Applied Sciences, Ausgabe 36, 2026, ISSN 0218-2025
Herausgeber: World Scientific Pub Co Pte Ltd
DOI: 10.1142/S021820252650003X