Cel
Ferroelectric compounds such as the lead zirconate titanates (PbZrxTi1-xO3, or PZT) exhibit a range of physical properties of interest for different applications. In particular, they are characterised by a permanent, electrically switchable dielectric polarisation, which makes ferroelectric capacitors suitable for binary, non-volatile data storage.
The objective of FELMAS is to demonstrate the feasibility of making high-quality PZT films of sufficient quality for non-volatile memory devices and to integrate them with existing CMOS technologies.
The development of a ferroelectric technology has been largely completed. Capacitors with a film thickness between 0.1 and 0.4 um have been deposited on 10 cm oxidized silicon wafers. They can be switched for more than 1010 cycles at 5 V and for more than 1015 cycles at 1.5 V. This is very promising for low voltage (battery operated) applications. On the process development side, it has been shown that the structuring of the capacitors can be successfully done by dry etching techniques such as reactive ion etching. This enables production of high density memories and enhances the compatibility with silicon integrated circuit (IC) processes.
Considerable effort has been expended on the design of a test structure evaluation module (TSEM) containing a number of complementary metal oxide semiconductor (CMOS) and ferroelectric test structures, sensor structures, different memory cells and a small (256 bit) memory. The design is now complete.
Specific aims are to:
- develop and optimise thin-film PZT deposition on silicon substrates (10-15 cm in diameter) using two different methods (sol-gel spin coating form metal-organic solutions and metal-organic chemical vapour deposition)
- optimise the influence of composition, dopant type and concentration, processing conditions and microstructure on the switching properties of PZT films
- optimise standard Ti/Pt electrodes and develop electrodes with improved switching properties
- develop models for the switching, fatigue and retention behaviour of ferroelectric thin films
- develop viable processing techniques compatible with IC technologies
- design, process and evaluate test structure evaluation modules (TSEMs) to demonstrate the compatibility of ferroelectric and CMOS technologies, using 1.5 micron technology and including a memory device.
- perform a preliminary evaluation of the industrialisation potential and limitations of the ferroelectric technology
- evaluate deposited ferroelectric films for sensor applications.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna związki nieorganiczne
- inżynieria i technologia inżynieria materiałowa powłoki
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna czujniki
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metaloidy
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Brak dostępnych danych
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Brak dostępnych danych
Koordynator
5600 MD EINDHOVEN
Niderlandy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.