3D Silicon Micromachining with Infrared ultrafast LasErs

Informazioni relative al progetto

SMILE

ID dell’accordo di sovvenzione: 660769

DOI

10.3030/660769

Progetto chiuso

Data della firma CE 27 Marzo 2015

Data di avvio 30 Settembre 2015

Data di completamento 29 Settembre 2017

Finanziato da

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Costo totale

€ 145 845,60

Contributo UE

€ 145 845,60

Coordinato da

BILKENT UNIVERSITESI VAKIF
Türkiye

CORDIS fornisce collegamenti ai risultati finali pubblici e alle pubblicazioni dei progetti ORIZZONTE.

I link ai risultati e alle pubblicazioni dei progetti del 7° PQ, così come i link ad alcuni tipi di risultati specifici come dataset e software, sono recuperati dinamicamente da .OpenAIRE .

Pubblicazioni

Peer reviewed articles (2)

Femtosecond laser written waveguides deep inside silicon

Autori: I. Pavlov, O. Tokel, S. Pavlova, V. Kadan, G. Makey, A. Turnali, Ö. Yavuz, F. Ö. Ilday
Pubblicato in: Optics Letters, Numero 42/15, 2017, Pagina/e 3028, ISSN 0146-9592
Editore: Optical Society of America
DOI: 10.1364/OL.42.003028

In-chip microstructures and photonic devices fabricated by nonlinear laser lithography deep inside silicon

Autori: Onur Tokel, Ahmet Turnalı, Ghaith Makey, Parviz Elahi, Tahir Çolakoğlu, Emre Ergeçen, Özgün Yavuz, René Hübner, Mona Zolfaghari Borra, Ihor Pavlov, Alpan Bek, Raşit Turan, Denizhan Koray Kesim, Serhat Tozburun, Serim Ilday, F. Ömer Ilday
Pubblicato in: Nature Photonics, Numero 11/10, 2017, Pagina/e 639-645, ISSN 1749-4885
Editore: Nature Pub. Group
DOI: 10.1038/s41566-017-0004-4