Cel
The SeNaTe project is the next in a chain of thematically connected ENIAC JU KET pilot line projects which are associated with 450mm/300mm development for the 12nm and 10nm technology nodes. The main objective is the demonstration of the 7nm IC technology integration in line with the industry needs and the ITRS roadmap on real devices in the Advanced Patterning Center at imec using innovative device architecture and comprising demonstration of a lithographic platform for EUV and immersion technology, advanced process and holistic metrology platforms, new materials and mask infrastructure.
A lithography scanner will be developed based on EUV technology to achieve the 7nm module patterning specification. Metrology platforms need to be qualified for N7’s 1D, 2D and 3D geometries with the appropriate precision and accuracy. For the 7nm technology modules a large number of new materials will need to be introduced. The introduction of these new materials brings challenges for all involved processes and the related equipment set. Next to new deposition processes also the interaction of the involved materials with subsequent etch, clean and planarization steps will be studied. Major European stakeholders in EUV mask development will collaboratively work together on a number of key remaining EUV mask issues.
The first two years of the project will be dedicated to find the best options for patterning, device performance, and integration. In the last year a full N7 integration with electrical measurements will be performed to enable the validation of the 7nm process options for a High Volume Manufacturing.
The SeNaTe project relates to the ECSEL work program topic Process technologies – More Moore. It addresses and targets as set out in the MASP at the discovery of new Semiconductor Process, Equipment and Materials solutions for advanced CMOS processes that enable the nano-structuring of electronic devices with 7nm resolution in high-volume manufacturing and fast prototyping.
Dziedzina nauki
- engineering and technologynanotechnologynano-materialstwo-dimensional nanostructuresgraphene
- engineering and technologymaterials engineeringcoating and films
- natural sciencesphysical scienceselectromagnetism and electronicssemiconductivity
- natural scienceschemical sciencesinorganic chemistrymetalloids
- engineering and technologymaterials engineeringceramics
Program(-y)
System finansowania
ECSEL-IA - ECSEL Innovation ActionKoordynator
5504DR Veldhoven
Niderlandy
Zobacz na mapie
Uczestnicy (51)
74000 Annecy
Zobacz na mapie
3001 Leuven
Zobacz na mapie
76705 Rehovot
Zobacz na mapie
1109 Dresden
Zobacz na mapie
38000 GRENOBLE
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
3001 HEVERLEE
Zobacz na mapie
Zakończenie uczestnictwa
1322 AP ALMERE
Zobacz na mapie
73614 SCHORNDORF
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
51429 Bergisch Gladbach
Zobacz na mapie
Zakończenie uczestnictwa
78315 Radolfzell
Zobacz na mapie
91300 MASSY
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
5683 CR Best
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
Zakończenie uczestnictwa
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
7521 PH Enschede
Zobacz na mapie
34000 Montpellier
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
627 00 Brno
Zobacz na mapie
5651 GG Eindhoven
Zobacz na mapie
80686 Munchen
Zobacz na mapie
01109 Dresden
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
Zakończenie uczestnictwa
63450 Hanau
Zobacz na mapie
85551 Heimstetten
Zobacz na mapie
3001 Leuven
Zobacz na mapie
70569 Stuttgart
Zobacz na mapie
Zakończenie uczestnictwa
82109 KIRYAT GAT
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
Zakończenie uczestnictwa
19801 WILMINGTON NEW CASTLE DE
Zobacz na mapie
07745 JENA
Zobacz na mapie
2306990 Migdal Haemek
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
DH1 1TW Durham
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
76187 Karlsruhe
Zobacz na mapie
35781 Weilburg
Zobacz na mapie
23100 Migdal Haemek
Zobacz na mapie
9500 Villach
Zobacz na mapie
3001 Leuven
Zobacz na mapie
20692 Yokneam
Zobacz na mapie
76100 REHOVOT
Zobacz na mapie
38116 Braunschweig
Zobacz na mapie
31700 Blagnac
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
1117 BUDAPEST
Zobacz na mapie
38190 Bernin
Zobacz na mapie
75447 Sternenfels
Zobacz na mapie
Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.
2595 DA Den Haag
Zobacz na mapie
7522 NB Enschede
Zobacz na mapie
5652 AW Eindhoven
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
5651 GG Eindhoven
Zobacz na mapie
Podmiot prawny inny niż podwykonawca, stowarzyszony lub mający inne powiązania prawne z uczestnikiem. Podmiot realizuje prace na podstawie warunków umowy o grant, dostarcza towary lub świadczy usługi związane z działaniem, jednak nie podpisuje umowy o grant. Podmiot zewnętrzny przestrzega zasad i wymogów dotyczących danego uczestnika wynikających z umowy o grant, dotyczących kwalifikowalności kosztów oraz kontroli wydatków.
5651 GH Eindhoven
Zobacz na mapie
73447 Oberkochen
Zobacz na mapie
1322 AP Almere
Zobacz na mapie