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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Ion-irradiation-induced Si Nanodot Self-Assembly for Hybrid SET-CMOS Technology

Ziel

Billions of tiny computers that can sense and communicate from anywhere are coming online, creating the “Internet of Things” (IoT). As the IoT continues to expand, more and more devices need batteries and plugs. According to Gartner (www.gartner.com) there will be nearly 26 billion devices connected to the IoT by 2020. Therefore, together with improved batteries, advanced computation and communication must be delivered at extremely low-power consumption.
It is well-known that Single Electron Transistors (SET) are extremely low-energy dissipation devices. CMOS and SETs are complementary: SET is the champion of low-power consumption while CMOS advantages like high-speed, driving etc. compensate exactly for SET's intrinsic drawbacks. Unrivalled integration with high performance is expected for hybrid SET-CMOS architectures.Manufacturability is the roadblock for large-scale use of hybrid SET-CMOS architectures. To assure room temperature (RT) operation, single dots of diameters below 5 nm have to be fabri-cated, exactly located between source and drain with tunnel distances of a few nm. A reliable CMOS compatible process of co-fabrication of RT-SETs and FETs is not yet available.
IONS4SET will pave the way for fabrication of low-energy devices operating at RT using the discovery of a bottom-up self-assembly process. Lithography cannot deliver the feature sizes of 1…3 nm required for RT operation. IONS4SET will provide both, (i) controlled self-assembly of single ~ 2 nm Si dots and (ii) self-alignment of each nanodot with source and drain at tunneling distances of ~ 2 nm. The fabrication process of the Si nanodot involves (i) ion irradiation through a few tens of nm thin Si pillars with an embedded SiO2 layer and (ii) thermal activation of self-assembly. Dot self-assembly works for narrow pillars only, i.e. nanopillar fabrication is crucial for IONS4SET. Finally, a power saving hybrid SET/CMOS device with a vertical gate-all-around nanowire GAA-SET will be fabricated.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

RIA - Research and Innovation action

Alle im Rahmen dieses Finanzierungsinstruments finanzierten Projekte anzeigen

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

(öffnet in neuem Fenster) H2020-ICT-2015

Alle im Rahmen dieser Aufforderung zur Einreichung von Vorschlägen finanzierten Projekte anzeigen

Koordinator

HELMHOLTZ-ZENTRUM DRESDEN-ROSSENDORF EV
Netto-EU-Beitrag

Finanzieller Nettobeitrag der EU. Der Geldbetrag, den der Beteiligte erhält, abzüglich des EU-Beitrags an mit ihm verbundene Dritte. Berücksichtigt die Aufteilung des EU-Finanzbeitrags zwischen den direkten Begünstigten des Projekts und anderen Arten von Beteiligten, wie z. B. Dritten.

€ 858 125,00
Adresse
BAUTZNER LANDSTRASSE 400
01328 Dresden
Deutschland

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Region
Sachsen Dresden Dresden, Kreisfreie Stadt
Aktivitätstyp
Research Organisations
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

€ 858 125,00

Beteiligte (5)

Mein Booklet 0 0