Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Technology Advances for Pilotline of Enhanced Semiconductors for 3nm

Cel

"In line with industry needs, Moore’s law, scaling in ITRS 2013, and ECSEL JU MASP 2017, the main objective of the
TAPES3 project is to discover, develop and demonstrate lithographic, metrology, EUV mask technology, devices and process modules enabling 3nm node technology. This is planned with available EUV/NA 0.33 scanners, and with system design and integration of a new hyper NA EUV lithography tool to enable more single exposure patterning at 3nm to create complex integrated circuits. Process steps for 3D devices as alternative to the conventional FINFet will be explored for application in the 3nm node. The impact of the application of these so called 3D devices on circuit topology and logic design will be explored. During the development, specific challenges in metrology for the characterization of 3D devices will be assessed and metrology tools will be newly developed. The result will be demonstrated in the imec pilot line.
The TAPES3 project relates to the ECSEL work program topic Equipment, Material and Manufacturing. It addresses and targets, as set out in MASP, the grand Challange of ""More Moore Equipment and Materials for sub 10nm technologies"" by exploring the requirements and solutions for the 3nm node. The project touches the core of the continuation of Moore’s law. Moreover, the cost aware development process will support the involved companies, and will place them in a preferred position over their worldwide competition. Through their worldwide affiliations, the impact of the TAPES3 project will be felt outside Europe in America and Asia Pacific semiconductor centers and is expected to benefit the European economy a lot by supporting its semiconductor equipment and metrology sectors with innovations, exports and employment."

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Słowa kluczowe

Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

IA - Innovation action

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) H2020-ECSEL-2017-1-IA-two-stage

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Koordynator

ASML NETHERLANDS B.V.
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 7 577 677,06
Adres
DE RUN 6501
5504DR Veldhoven
Niderlandy

Zobacz na mapie

Region
Zuid-Nederland Noord-Brabant Zuidoost-Noord-Brabant
Rodzaj działalności
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Linki
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 38 168 645,78

Uczestnicy (37)

Moja broszura 0 0