Pubblicazioni
Autori:
Andreas Erdmann, Hazem Mesilhy, Peter Evanschitzky, Vicky Philipsen, Frank Timmermans, Markus Bauer
Pubblicato in:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Numero 19/04, 2020, ISSN 1932-5150
Editore:
S P I E - International Society for Optical Engineering
DOI:
10.1117/1.jmm.19.4.041001
Autori:
Hugh T. Philipp, Mark W. Tate, Katherine S. Shanks, Luigi Mele, Maurice Peemen, Pleun Dona, Reinout Hartong, Gerard van Veen, Yu-Tsun Shao, Zhen Chen, Julia Thom-Levy, David A. Muller, Sol M. Gruner
Pubblicato in:
Microscopy and Microanalysis, Numero Volume 28, Numero 2, March 2022, 2022, ISSN 1431-9276
Editore:
Cambridge University Press
DOI:
10.1017/s1431927622000174
Autori:
Fabrizio Rovaris, Marvin H. Zoellner, Peter Zaumseil, Anna Marzegalli, Luciana Di Gaspare, Monica De Seta, Thomas Schroeder, Peter Storck, Georg Schwalb, Giovanni Capellini, and Francesco Montalenti
Pubblicato in:
PHYSICAL REVIEW B, Numero Phys. Rev. B 100, 085307, 2019, ISSN 2469-9969
Editore:
American Physical Society
DOI:
10.1103/physrevb.100.085307
Autori:
L. Becker, P. Storck, T. Schulz, M. H. Zoellner, L. Di Gaspare, F. Rovaris, A. Marzegalli, F. Montalenti, M. De Seta, G. Capellini, G. Schwalb, T. Schroeder, M. Albrecht
Pubblicato in:
Journal of Applied Physics, Numero Journal of Applied Physics 128, 215305 (2020), 2020, ISSN 0021-8979
Editore:
American Institute of Physics
DOI:
10.1063/5.0032454
Autori:
Youssef Drissi, Werner Gillijns, Jae Uk Lee, Ryan Ryoung han Kim, Ahmed Hamed Fatehy, Rehab K. Ali, Rajiv Sejpal, Germain Fenger, James Word
Pubblicato in:
Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability XIII, 2019, Pagina/e 30, ISBN 9781510625723
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2517051
Autori:
Jae Uk Lee, Ryoung-han Kim, David Abercrombie, Rehab Kotb Ali, Ahmed Hamed-Fatehy
Pubblicato in:
2019
Editore:
EDN Network
Autori:
Rik Jonckheere, Chien-Ching Wu, Veronique de Rooij-Lohmann, Dorus Elstgeest, Henk Lensen, Philipp Hoenicke, Michael Kolbe, Victor Soltwisch, Claudia Zech, Frank Scholze, Remko Aubert, Vineet Vijayakrishnan Nair, Eric Hendrickx
Pubblicato in:
Extreme Ultraviolet Lithography 2020, 2020, Pagina/e 28, ISBN 9781510638433
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2573125
Autori:
Chih-I Wei, Stewart Wu, Yunfei Deng, Gurdaman Khaira, Ir Kusnadi, Germain Fenger, Seulki Kang, Yosuke Okamoto, Kotaro Maruyama, Yuichiro Yamazaki, Sayantan Das, Sandip Halder, Werner Gillijns, Gian Lorusso
Pubblicato in:
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV, 2021, Pagina/e 32, ISBN 9781510640566
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2583837
Autori:
Peter van der Walle, Jetske K. Stortelder, Chien-Ching Wu, Henk Lensen, Norbert B. Koster
Pubblicato in:
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XI, 2020, Pagina/e 66, ISBN 9781510634145
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2552011
Autori:
Chang-Nam Ahn, Dong-Seok Nam, Nakgeuon Seong, Anthony Yen
Pubblicato in:
SPIE Advanced Lithography, Numero Proceedings Volume 11609, Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII; 116090D (2021), 2021
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2583462
Autori:
Rehab Kotb Ali, Ahmed Hamed Fatehy, James Word
Pubblicato in:
Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability XIV, 2020, Pagina/e 33, ISBN 9781510634244
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2552091
Autori:
Jae Uk Lee, Ryoung-han Kim, David Abercrombie, Rehab Kotb Ali, Ahmed Hamed-Fatehy
Pubblicato in:
2019
Editore:
EDN Network
Autori:
Azat Latypov, Gurdaman Khaira, Germain L. Fenger, John L. Sturtevant, Chih-I Wei, Peter De Bisschop
Pubblicato in:
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XI, 2020, Pagina/e 17, ISBN 9781510634145
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2551965
Autori:
Claire van Lare, Frank Timmermans, Jo Finders, Olena Romanets, Cheuk-Wah Man, Paul van Adrichem, Yohei Ikebe, Takeshi Aizawa, Takahiro Onoue
Pubblicato in:
SPIE Advanced Lithography, Numero Proceedings Volume 11609, Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XII; 116090A (2021), 2021
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2584725
Autori:
Meiyi Wu, Devesh Thakare, Jean-François de Marneffe, Patrick Jaenen, Laurent Souriau, Karl Opsomer, Jean-Philippe Soulié, Andreas Erdmann, Hazem Mesilhy, Philipp Naujok, Markus Foltin, Victor Soltwisch, Qais Saadeh, Vicky Philipsen
Pubblicato in:
Extreme Ultraviolet Lithography 2020, 2020, Pagina/e 2, ISBN 9781510638433
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2572114
Autori:
Lars Wischmeier, Paul Gräupner, Peter Kürz, Winfried Kaiser, Jan Van Schoot, Jörg Mallmann, Joost de Pee, Judon Stoeldraijer
Pubblicato in:
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XI, 2020, Pagina/e 4, ISBN 9781510634145
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2543308
Autori:
Jan van Schoot, Eelco van Setten, Ruben Maas, Kars Troost, Jo Finders, Sjoerd Lok, Rudy Peeters, Judon Stoeldraijer, Jos Benschop, Paul Graeupner, Peter Kuerz, Winfried Kaiser
Pubblicato in:
2020
Editore:
EUVL Workshop 2020
Autori:
Heiko Feldmann, Paul Gräupner, Peter Kürz, Winfried Kaiser
Pubblicato in:
2019
Editore:
ESSCIRC/ESSDERC 2019, Cracow, Poland
Autori:
Chih-I Wei, Rajiv Sejpal, Yunfei Deng, Ir Kusnadi, Germain Fenger, Masahiro Oya, Yosuke Okamoto, Kotaro Maruyama, Yuichiro Yamazaki, Sayantan Das, Sandip Halder, Werner Gillijns
Pubblicato in:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV, 2020, Pagina/e 2, ISBN 9781510634183
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2554527
Autori:
] Erdmann, A., Xu, D., Evanschitzky, P., Philipsen, V., Luong, V., Hendrickx, E.
Pubblicato in:
2017
Editore:
Advanced Optical Technologies 6
Autori:
Jan van Schoot, Sjoerd Lok, Eelco van Setten, Ruben Maas, Kars Troost, Rudy Peeters, Jo Finders, Judon Stoeldraijer, Jos Benschop, Paul Graeupner, Peter Kuerz, Winfried Kaiser
Pubblicato in:
2020
Editore:
SPIE
Autori:
Frédéric Lazzarino, Nihar Mohanty, Yannick Feurprier, Lior Huli, Vinh Luong, Marc Demand, Stefan Decoster, Victor Vega Gonzalez, Julien Ryckaert, Ryan Ryoung Han Kim, Arindam Mallik, Philippe Leray, Chris Wilson, Jürgen Boemmels, Kaushik Kumar, Kathleen Nafus, Anton deVilliers, Jeffrey Smith, Carlos Fonseca, Julie Bannister, Steven Scheer, Zsolt Tokei, Daniele Piumi, Kathy Barla
Pubblicato in:
Advanced Etch Technology for Nanopatterning VI, 2017, Pagina/e 1014908
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2258028
Autori:
Jetske Stortelder, Robert P. Ebeling, Corné Rijnsent, Michel van Putten, Veronique de Rooij-Lohmann, Maximilian Smit, Arnold J. Storm, Norbert Koster, Henk A. Lensen, Vicky Philipsen, Karl Opsomer, Devesh Thakare, Torsten Feigl, Philipp Naujok
Pubblicato in:
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021, 2021, Pagina/e 19, ISBN 9781510645530
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2600928
Autori:
BY JAE UK LEE, RYOUNG HAN KIM, DAVID ABERCROMBIE, AND REHAB KOTB ALI
Pubblicato in:
2021
Editore:
EDN.com
Autori:
Lars Wischmeier
Pubblicato in:
2020
Editore:
ESSCIRC/ESSDERC 2020, Dresden, Germany
Autori:
Paul Graeupner
Pubblicato in:
2021
Editore:
ESSCIRC/ESSDERC 2021, Grenoble, France
Autori:
Jae Uk Lee, Ryoung-han Kim, David Abercrombie, Rehab Kotb Ali, Ahmed Hamed-Fatehy
Pubblicato in:
2020
Editore:
EDN.com
Autori:
Jae Uk Lee, Apoorva Oak, Ryoung Han Kim, David Abercrombie, Rehab Kotb Ali, Ahmed Hamed-Fatehy
Pubblicato in:
2019
Editore:
Siemens
Autori:
Bartosz Bilski, Heiko Feldmann, Paul Gräupner, Peter Kürz, Winfried Kaiser
Pubblicato in:
2019
Editore:
ESSCIRC/ESSDERC 2019, Cracow, Poland
Autori:
Winfried Kaiser
Pubblicato in:
2019
Editore:
VLSI-TSA 2019
Autori:
Sascha Migura
Pubblicato in:
2019
Editore:
EUVL Workshop
Autori:
Jae Uk Lee, David Abercrombie, Rehab Kotb Ali
Pubblicato in:
2020
Editore:
Siemens
Autori:
Philipsen, V., Luong, K.V., Opsomer, K., Souriau, L., Rip, J., Detavernier, C., Erdmann, A., Evanschitzky, P., Laubis, C., Hönicke, Ph., Soltwisch, V., Hendrickx, E.
Pubblicato in:
SPIE DIGITAL LIBRARY, 2019
Editore:
SPIE
Autori:
Jerome Mitard, Luka Kljucar, Nouredine Rassoul, Harold F. W. Dekkers, Michiel van Setten, Adrian Chasin, Geoffrey Pourtois, Attilio Belmonte, Romain Delhougne, Gabriele Luca Donadio, Ludovic Goux, Manoj Nag, Chris Wilson, Zsolt Tokei, Jose Ignacio del agua Borniquel, Soeren Steudel and Gouri Sankar Kar
Pubblicato in:
ECS Transactions, Numero 98 (7), 2020, Pagina/e 205-217
Editore:
The Electrochemical Society
Autori:
Fan Jiang, Alexander Tritchkov, Alex Wei, Srividya Jayaram, Yuyang Sun, Xima Zhang, and James Word
Pubblicato in:
SPIE DIGITAL LIBRARY, 2019
Editore:
SPIE
Autori:
Philipsen, V., Luong, K.V., Souriau, L., Erdmann, A., Evanschitzky, P., van de Kruijs, R.W. E., Edrisi, A., Scholze, F., Laubis, C., Irmscher, M., Naasz, S., Reuter, C., Hendrickx, E.
Pubblicato in:
Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 16, 2017
Editore:
Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 16
Diritti di proprietà intellettuale
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2020201041
Data:
2020-01-29
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
20
20052250
Data:
2020-01-30
Numero candidatura/pubblicazione:
20
19076001
Data:
2019-09-26
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2019215990
Data:
2019-10-17
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
20
19063706
Data:
2019-05-28
Numero candidatura/pubblicazione:
20
19075125
Data:
2019-09-19
Numero candidatura/pubblicazione:
21
192493
Data:
2021-08-23
Candidato/i:
FEI ELECTRON OPTICS BV
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