CORDIS oferuje możliwość skorzystania z odnośników do publicznie dostępnych publikacji i rezultatów projektów realizowanych w ramach programów ramowych HORYZONT.
Odnośniki do rezultatów i publikacji związanych z poszczególnymi projektami 7PR, a także odnośniki do niektórych konkretnych kategorii wyników, takich jak zbiory danych i oprogramowanie, są dynamicznie pobierane z systemu OpenAIRE .
Wyniki nadające się do wykorzystania
This in depth research study focusses on the in situ control of plasma assisted deposition of cubic boron nitride film with the final goal to understand and model the chemistry and physical mechanisms of their generation.
The research is divided into 2 parts:
set up of plasma assisted chemical vapour deposition (PACVD) chambers, plasma diagnostics techniques and in situ measurements;
investigation of the influence of hardware and process parameters settlings on plasma composition and cubic boron nitride (BN) properties on silicon (Si) and steel substrates.
Wyszukiwanie danych OpenAIRE...
Podczas wyszukiwania danych OpenAIRE wystąpił błąd
Brak wyników