Skip to main content

High volume piezoelectric thin film production process for microsystems

Article Category

Article available in the folowing languages:

Piezoelektryczność naładowana możliwościami

Piezoelektryczność dysponuje potencjałem szerokiego wachlarza zastosowań, ale wymaga dostosowanych technologii umożliwiających zeskalowanie możliwości produkcji. Finansowany ze środków UE projekt zaowocował opracowaniem procesów produkcji masowej w celu wyprodukowania dostosowanych układów mikroelektromechanicznych.

Technologie przemysłowe

Piezoelektryczność oznacza ładunek elektryczny zgromadzony w ciele stałym w wyniku zastosowanego napięcia mechanicznego. Efekt ten jest również odwracalny. Piezoelektryczność można wykorzystać do wytwarzania i wykrywania dźwięku oraz wytwarzania wysokich napięć; jest ona również przydatna w zastosowaniach precyzyjnych, takich jak mikrowagi i ultraprecyzyjne ogniskowanie zespołów optycznych. Aby wykorzystać olbrzymi potencjał, jaki niesie ze sobą piezoelektryczność, w ramach projektu PIEZOVOLUME ("High volume piezoelectric thin film production process for microsystems") opracowano zintegrowany proces masowej produkcji mikroukładów piezoelektrycznych. Dzięki finansowaniu w ramach siódmego programu ramowego UE projekt zaowocował opracowaniem platformy mikroprodukcji obejmującej cały łańcuch procesu produkcji. Zespół projektu PIEZOVOLUME skupił się w szczególności na trzech najważniejszych ograniczeniach dotyczących sprzętu i oprogramowania utrudniających masową produkcję układów piezomikroelektromechanicznych (piezoMEMS). Aby ułatwić i przyspieszyć komercjalizację wyników, projektu partnerzy zgromadzili razem dostawców i użytkowników technologii oraz duże, małe i średnie przedsiębiorstwa. Projekt doprowadził do opracowania konkretnych narzędzi i procesów przeznaczonych do masowej produkcji układów piezoMEMS, jak również reguł i wytycznych z zakresu produkcji, w szczególności piezoelektrycznych cienkich folii z tytanianu cyrkonowo-ołowiowego (PZT). W ramach projektu PIEZOVOLUME opracowano, przetestowano i poddano walidacji również szereg technologii, które umożliwiłyby taką produkcję, włącznie z systemem dwuwiązkowego inferometru laserowego przeznaczonego do charakteryzacji płytek o rozmiarze do 8 cali. System PIEZOVOLUME umożliwi producentom opracowanie procesów produkcji przeznaczonych dla szerokiego zakresu produktów. Należą do nich atramentowe głowice drukujące, aktywne elementy optyki, takie jak soczewki samoogniskujące i skanery oraz przetworniki ultradźwięków do czujników zbliżeniowych, a nawet do obrazowania z użyciem wysokich częstotliwości. Projekt wzmocni również konkurencyjność Europy w zakresie dostarczania kluczowych maszyn produkcyjnych służących do produkcji folii piezoelektrycznych.

Znajdź inne artykuły w tej samej dziedzinie zastosowania