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MIniature Co-operative RObots advancing towards the Nano-range

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Mikroroboter für schwierige Aufgaben im Mikrokosmos

Das MiCRoN-Projekt erbrachte autonome mobile Roboter in einer Größe von wenigen Kubikzentimetern zur Erledigung von hochpräzisen Aufgaben im Mikro- und Nanobereich.

Die innovativen mobilen Mikroroboter werden durch Piezoaktuatoren angetrieben und können sich durch entsprechende Bewegungsmodule einfach und mit drei Freiheitsgraden bewegen. Die Mikroroboter zeichnen sich durch eine hohe Auflösung im Nanometerbereich sowie durch eine verbesserte Kompaktheit und Einfachheit aus. Zudem können sie im Vakuum arbeiten, was sie für eine weitere Verwendung bei Scanner-Elektronenmikroskopen tauglich macht. Da ein solcher nur aus wenigen mechanischen Teilen besteht, kann er sehr kostengünstig produziert und einfach an verschiedene Bedürfnisse angepasst werden. Insbesondere kann man diese Roboter je nach dem Verwendungszweck mit einer vielfältigen Auswahl an Toolmodulen wie Mikrogreifern, Atomkraftmikroskopie-Sonden (AFM - Atomic Force Microscopy) und Mikrospritzen ausstatten. Für die Mikroroboter bestehen zahlreiche Anwendungsgebiete wie die Mikromontage von Mikroteilen. Dazu gehören die Einrichtung von Optikkomponenten und die Fertigung von Mikroelektromechanischen Sensoren (MEMS). Auf dem Gebiet der Mikroskopie eignen sie sich für Licht-, Rastersonden- und Elektronenstrahlmikroskope. Ein weiteres wichtiges Anwendungsgebiet liegt mit Mikroverarbeitung, Positionierung von Mikro-Biosensoren und der potenziellen In-vitro-Fertilisation in den Umweltwissenschaften. Zudem eignen sich die Mikroroboter hervorragend als Bestandteile von Instrumenten in der Nanotribologie, Materialprüfung, Sonden bei integrierten Schaltkreisen und in der Nanobearbeitung. Die autonomen mobilen Mikroroboter stehen für einen direkten Technologietransfer mittels Beratung für solche Unternehmen zur Verfügung, die sie in ihre Verarbeitungssysteme integrieren möchten. Weitere Informationen erhalten Sie auf der Projektseite im Internet: http://wwwipr.ira.uka.de/~micron/(öffnet in neuem Fenster)

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