Description du projet
Construction d’une chaîne de production pilote efficace pour les transistors de 3 nanomètres
Ces dernières décennies, les puces électroniques gagnent constamment en finesse grâce aux progrès de la science des matériaux et des technologies de fabrication. Dans l’industrie électronique, ce phénomène a été consacré par la loi de Moore, selon laquelle «la fonctionnalité double en moyenne tous les deux ans». Dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs, après le nœud 5 nanomètres en cours de développement, le nœud 3 nanomètres représente la prochaine frontière technologique. La réduction de la taille des transistors donne naissance à une nouvelle classe de produits dont la fonctionnalité, la vitesse et la consommation d’énergie surpassent les systèmes de pointe. Le projet PIn3S, financé par l’UE, vise à lancer une chaîne de production pilote de semi-conducteurs de 3 nanomètres, en étroite collaboration avec d’importants fabricants de matériel et des institutions universitaires d’Europe. Il se concentrera sur l’optimisation de l’intégration des procédés et le développement de nouveaux outils de lithographie, de réparation des masques et de métrologie. Cette nouvelle avancée technologique aura des répercussions importantes sur de nombreux secteurs, notamment des communications, de la mobilité, des soins de santé, de l’énergie, de la sûreté et de la sécurité.
Objectif
The overall objective of the PIn3S project is to realize Pilot Integration of 3nm Semiconductor technology. This covers Process Integration, creation of Lithography Equipment, EUV Mask Repair Equipment and Metrology tools capable to deal with 3D structures, defects analysis, overlay and feature size evaluation.
Each of these objectives will be achieved by cooperation between key European equipment developers like; ASML, Zeiss, Thermo Fisher, Applied Materials, Nova, KTI involved with their suppliers, involvement of a strong knowledge network based on Universities of Germany, Heidelberg University Hospital, and the Netherland, TU Delft and the University of Twente, complemented with key Technology Institutes such as imec and Fraunhofer.
The project addresses Section 15 “Electronics Components & Systems Process Technology, Equipment, Materials and Manufacturing”, Major Challenge 4 “Maintaining world leadership in Semiconductor Equipment, Materials and Manufacturing solutions” and Major Challenge 1 “Developing advanced logic and memory technology for nanoscale integration and application-driven performance” of the ECSEL JU Annual Work Plan 2018.
As set out in the Multi Annual Strategic Plan 2018, PIn3S addresses the ambition for the European Equipment & Manufacturing industry for advanced semiconductor technologies to lead the world in miniaturization by supplying new equipment and materials approximately two years ahead of introduction of volume production of advanced semiconductor manufacturers.
With the results of the Pin3S project the consortium builds on realizing IC manufacturers to migrate to the 3nm Technology node which enables a class of new products which have more functionality, more performance and are more power efficient. As such it will form the bases for innovations yet to come enabling solutions that address the societal challenges in communication, mobility, health care, security, energy and safety & security.
Champ scientifique
Programme(s)
Thème(s)
Régime de financement
IA - Innovation actionCoordinateur
5504DR Veldhoven
Pays-Bas
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Participants (27)
3001 Leuven
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76705 Rehovot
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12347 Berlin
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5633 AJ Eindhoven
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91300 MASSY
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
3001 Leuven
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80686 Munchen
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13790 Rousset
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
3001 Leuven
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Participation terminée
35781 Weilburg
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23100 Migdal Haemek
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76100 REHOVOT
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74000 Annecy
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5692 EM Son
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
5692 EM Son En Breugel
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31700 Blagnac
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
7555 RJ Hengelo Ov
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
09125 Chemnitz
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7521 PE Enschede
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L’entreprise s’est définie comme une PME (petite et moyenne entreprise) au moment de la signature de la convention de subvention.
5651 GG Eindhoven
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2628 CN Delft
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7522 NB Enschede
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060042 Bucharest
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5651 GH Eindhoven
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
7553 LL Hengelo
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73447 Oberkochen
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Entité juridique autre qu’un sous-traitant qui est affiliée ou juridiquement liée à un participant. L’entité réalise des travaux dans les conditions prévues par la convention de subvention, fournit des biens ou des services pour l’action, mais n’a pas signé la convention de subvention. Le tiers respecte les règles applicables au participant qui lui est lié dans le cadre de la convention de subvention en ce qui concerne l’éligibilité des coûts et le contrôle des dépenses.
07745 Jena
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