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Pubblicazioni
Autori:
B. Vincent, J. Boemmels, J. Ryckaert and J. Ervin
Pubblicato in:
IEEE Journal of the Electron Devices Society, 2020, ISSN 2168-6734
Editore:
Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
DOI:
10.1109/jeds.2020.2990718
Autori:
Peter Evanschitzky, Nicole Auth, Tilmann Heil, Christian Felix Hermanns, Andreas Erdmann
Pubblicato in:
Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology, 2021, ISSN 1932-5150
Editore:
S P I E - International Society for Optical Engineering
DOI:
10.1117/1.jmm.20.4.041205
Autori:
Stephan Barth, Tom Schreiber , Steffen Cornelius , Olaf Zywitzki, Thomas Modes, Hagen Bartzsch
Pubblicato in:
micromachines, Numero Micromachines 2022, 13, 2022, Pagina/e 1561, ISSN 2072-666X
Editore:
Multidisciplinary Digital Publishing Institute (MDPI)
DOI:
10.3390/mi13101561
Autori:
Lars Wischmeier, Paul Gräupner, Peter Kürz, Winfried Kaiser, Jan Van Schoot, Jörg Mallmann, Joost de Pee, Judon Stoeldraijer
Pubblicato in:
Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography XI, 2020, Pagina/e 4, ISBN 9781510634145
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2543308
Autori:
Vlad Medvedev, Peter Evanschitzky, Andreas Erdmann
Pubblicato in:
SPIE Proceedings, Numero Proc. SPIE 12472, 37th European Mask and Lithography Conference, 1247208 (1 November 2022), 2022
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2637978
Autori:
Michael Strauss, Chen Lib, Chris Hakalaa, Xiaoting Gua, Antonio Manib, Zhenxin Zhonga
Pubblicato in:
SPIE Proceedings, 2023
Editore:
SPIE
Autori:
Gian Francesco Lorusso, Christophe Beral, Janusz Bogdanowicz, Danilo De
Simone, Mahmudul Hasan, Christiane Jehoul, Alain Moussa, Mohamed Saib,
Mohamed Zidan, Joren Severi, Vincent Truffert, Dieter Van den Heuvel, Alex
Goldenshtein, Kevin Houchens, Gaetano Santoro, Daniel Fischer, Angelika
Muellender, Joey Hung, Roy Koret, Igor Turovets, Kit Ausschnitt, Chris Mack,
Tsuyoshi Kondo, Tomoyasu Shohjoh,
Pubblicato in:
SPIE Advanced Lithography + Patterning, 2022, ISBN 978-1-5106-4981-1
Editore:
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE)
DOI:
10.1117/12.2614046
Autori:
Jan Van Schoot, Sjoerd Lok, Eelco van Setten, Ruben Maas, Kars Troost, Rudy Peeters, Jo Finders, Judon Stoeldraijer, Jos Benschop, Paul Graeupner, Peter Kuerz, Winfried Kaiser
Pubblicato in:
SPIE Photomask Technology + EUV Lithography, Numero Proceedings Volume 11517, Extreme Ultraviolet Lithography 2020, 2020
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2572932
Autori:
Paul Graeupner, Peter Kuerz, Jan Van Schoot, Judon Stoeldraijer
Pubblicato in:
SPIE Photomask Technology + EUV Lithography, Numero Proceedings Volume 11854, International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021, 2021
Editore:
SPIE
DOI:
10.1117/12.2600962
Autori:
D. Schmidt, M. Medikonda, M. Rizzolo, C. Silvestre, J. Frougier, A. Greene,
M. Breton, A. Cepler, J. Ofek, I. Kaplan, R. Koret, I. Turovets
Pubblicato in:
Proc. SPIE 12053, Metrology, Inspection, and Process Control, Numero XXXVI, 120530S (26 May 2022), 2022
Editore:
SPIE (IBM & NOVA)
Autori:
Yannick Hermans, Tilmann Heil, Maksym Kompaniiets, Daniel Boecker, Bartholomaeus Szafranek, Daniel Rhinow, Gerson Mette, Christian Felix Hermanns, Renzo Capelli, Thomas Marschner, Patrick Salg, Luc Halipre, Darko Trivkovic, Sandip Halder
Pubblicato in:
Abstract submitted to EMLC Conference 2023, 2023
Editore:
SPIE
Diritti di proprietà intellettuale
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2020204665
Data:
2020-04-14
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2021206953
Data:
2021-07-02
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2022211559
Data:
2022-11-02
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2022209852
Data:
2022-09-19
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2020204665
Data:
2020-04-14
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2019219691
Data:
2019-12-16
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2021206953
Data:
2021-07-02
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2022209852
Data:
2022-09-19
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
20
21062269
Data:
2021-05-10
Candidato/i:
ASML NETHERLANDS B.V.
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2019219691
Data:
2019-12-16
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
20
21077485
Data:
2021-10-06
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2021212823
Data:
2021-11-15
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
20
21062269
Data:
2021-05-10
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2021212823
Data:
2021-11-15
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
20
21077485
Data:
2021-10-06
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
Numero candidatura/pubblicazione:
10
2022211559
Data:
2022-11-02
Candidato/i:
CARL ZEISS SMT GMBH
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