Fundamental physical chemistry of ultraprecision silicon etching tonanometre dimensions

Informacje na temat projektu

Identyfikator umowy o grant: BRPR970588

Projekt został zamknięty

Data rozpoczęcia 1 Lutego 1998

Data zakończenia 30 Kwietnia 2001

Finansowanie w ramach

• Specific research and technological development programme in the field of industrial and materials technologies, 1994-1998

Koszt całkowity

Brak danych

Wkład UE

Brak danych

Koordynowany przez

THE UNIVERSITY OF LIVERPOOL
United Kingdom

Inne dokumenty

• Fundamental physical chemistry of ultraprecision silicon etching to nanometer dimensions (FUPUSET)