Cel
Water immersion lithography has been widely accepted as patterning technology for the 45nm technology node, but solutions for the patterning of 32nm and 22nm technology nodes are not clear yet.
EUV lithography is not yet available for industrial use, in spite of the impressive progresses registered till now, while multiple beam e beam lithography is still in development. Double patterning seems to be the only viable option to support the development of future process generations in a cost effective way and within the time limits defined by ITRS roadmap.
Its main advantage consists in enabling the definition of structures beyond resolution capability of existing lithographic tools, without drastic changes in manufacturing infrastructures or huge investments.
Two alternative approaches are possible, both based on existing immersion scanners:
Double exposure, which implies two subsequent exposure steps, and the use of different combinations of hard masks or innovative resist materials and development process;
Pitch doubling based on a single lithography exposure followed by the formation of spacers, by material deposition and etch-back, also in combination with CMP.
Both approaches are being actively investigated, but they are still far from maturity. Among the problems to be solved there is the control of mask to mask alignment, for double exposure, and the control of the thickness of deposited layers, of defects and of profiles, for pitch doubling. Common concerns are cost, size control and the partitioning of the design. The pitch doubling approach is the more advanced, specially for memories, while double exposure could have a broader application, but will require improvement to equipment.
The consortium includes all required competences to develop all elements of the supply chain required to bring double patterning to industrial maturity, in order to support 32nm and 22nm node mass production.
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
JU-ENIAC-2008-1
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)
Koordynator
20864 AGRATE BRIANZA
Włochy
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
Uczestnicy (11)
5504DR Veldhoven
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
38920 CROLLES
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
75015 PARIS 15
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
3001 Leuven
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
20864 Agrate Brianza
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
20041 agrate brianza
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
3001 Leuven
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
5651 GG Eindhoven
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
38330 MONTBONNOT SAINT MARTIN
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
28006 MADRID
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.
20014 SAN SEBASTIAN
Zobacz na mapie
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.