Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski pl
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-04-16

Wafer and Epilayer Improvement Correlated with Device Performances for InP-Based Optoelectronics

Cel

The problem of the uniformity and reproducibility of GaInAsP (1.3 micron wavelength) epitaxial layers suitable for optoelectronics devices was addressed using LP-MOCVD growth process on 2" InP substrates.
The problem of the uniformity and reproducibility of gallium indium arsenic phosphide (1.3 micron wavelength) epitaxial layers suitable for optoelectronics devices has been addressed using low pressure metal organic chemical vapour deposition (LP-MOCVD) growth process on inch indium phosphide substrates. The work on materials has been supported by extensive material characterization. In particular, the homogeneity of both substrates and epilayers has been measured nondestructively using spatially resolved photoluminescence. Ultimate validation of the material has been provided by gallium indium arsenic phosphide optical waveguide and gallium indium arsenide metal insulator semiconductor field effect transistor (MISFET) devices.
A statistical analysis of the losses of waveguides distributed over a whole 2 inch wafer has demonstrated that more than 60% of the waveguides exhibit losses below 0.8 dB Gallium indium arsenide, which was the target in this project. Besides, the distribution of the waveguide losses has been correlated with the bandgap wavelength variation over the 2 inch wafer. The electrical properties of gallium indium arsenide epitaxial layers (ie the sheet resistance, external transconductance and the effective mobility) were found to be quite homogeneous over the 2 inch wafer.
Gallium indium arsenide MISFET with 1.5 micron gate length exhibited a cut off frequency of 16 GHz and a maximum oscillation frequency of 14 GHz. The MISFET showed a response time of 70 ps. However, due to the shift in the transfer characteristic of the inverters, no oscillation of the ring oscillator circuits could be recorded.
The project has demonstrated that high quality (both optical and electrical) uniform gallium indium arsenide phosphide epitaxial layers can be obtained reproducibly on 2 inch indium phosphide substrates using a commercially available LP-MOCVD growth process.
The work on materials has been supported by extensive material characterisation. In particular, the homogeneity of both substrates and epilayers has been measured non-destructively using spatially resolved photoluminescence. Ultimate validation of the material has been provided by GaInAsP optical waveguide and GaInAs MISFET devices.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Brak dostępnych danych

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

Brak dostępnych danych

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

Brak dostępnych danych

Koordynator

Laboratoire d'Électronique Philips
Wkład UE
Brak danych
Adres
22 avenue Descartes
94453 Limeil-Brevannes
Francja

Zobacz na mapie

Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Uczestnicy (3)

Moja broszura 0 0