Zero damage Ultra-Low-K etch using the precursor CONDensation technique

Informacje na temat projektu

ULKCOND

Identyfikator umowy o grant: 708106

DOI

10.3030/708106

Projekt został zamknięty

Data podpisania przez KE 11 Marca 2016

Data rozpoczęcia 1 Kwietnia 2016

Data zakończenia 31 Marca 2018

Finansowanie w ramach

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Koszt całkowity

€ 160 800,00

Wkład UE

€ 160 800,00

Koordynowany przez

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

CORDIS oferuje możliwość skorzystania z odnośników do publicznie dostępnych publikacji i rezultatów projektów realizowanych w ramach programów ramowych HORYZONT.

Odnośniki do rezultatów i publikacji związanych z poszczególnymi projektami 7PR, a także odnośniki do niektórych konkretnych kategorii wyników, takich jak zbiory danych i oprogramowanie, są dynamicznie pobierane z systemu OpenAIRE .

Publikacje

Conference proceedings (7)

Low damage ULK etching by means of high boiling point organic condensation

Autorzy: R. Chanson, N. Holtzer, P. Lefaucheux, R. Dussart, P. Shen, K. Urabe, C. Dussarat, K. Maekawa, K. Yatsuda, S. Tahara and J.-F. de Marneffe
Opublikowane w: 2017
Wydawca: MRS

Cryo-etching: fundamental mechanisms

Autorzy: R. CHANSON, S. Tahara, K. Sasa, C. Dussarat, R. Dussart, T. Thillocher, P. Lefaucheux, J-F demarneff
Opublikowane w: 2017
Wydawca: PTW

Cryo-etching for integration in micro-electronic : Silicon deep etch for contact and low-k integration in Back end of line (BEOL)

Autorzy: Romain Chanson, Philippe Lefaucheux, Remi Dussart, Tillocher Thomas, Peng Shen, Keiichiro Urabe, Christian Dussarat, Kaoru Maekawa, Koichi Yatsuda, Shigeru Tahara, Jean-Francois de Marneffe
Opublikowane w: 2017
Wydawca: iPlasmaNano-VIII

Cryo-etching for low-k integration : Phenomenon screening from condensation to damages propagation a 0 damage process is reached

Autorzy: R. Chanson, J-F. De Marneffe, R. Dussart, T. Thomas, L. Philippe
Opublikowane w: 2016
Wydawca: PESM

Option for low damage processing during FSAV : GPPS and alternative plug

Autorzy: R. Chanson, J.F. de Marneffe, K. Babaei Gavan, F. Lazzarino, T. Yamaguchi, K. Yatsuda
Opublikowane w: 2017
Wydawca: PTW

Comparison of C4F8 and Higher boiling point organic for low-k cryo-etching

Autorzy: F.Leroy, N. Brochu, R. Chanson, R.Dussart, T. Tillocher, J.‑F. de Marneffe, L Zhang, K. Maekawa, K. Yatsuda, S. Tahara, C. Dussarrat
Opublikowane w: 2016
Wydawca: PESM

Low-k cryo-etching : Comparison of four different High Boiling Point Organic (HBPO)

Autorzy: R. CHANSON, S. Tahara, K. Sasa, C. Dussarrat, R. Dussart, T. Tillocher, P. Lefaucheux, J-F de marneffe
Opublikowane w: 2017
Wydawca: AVS