European Commission logo
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Metrology Advances for Digitized ECS industry 4.0

Opis projektu

DE EN ES FR IT PL

Nowoczesne technologie metrologiczne mają zrewolucjonizować europejski przemysł półprzewodników

Metrologia jest „oczami i uszami” wielu branż przemysłowych, w tym branży półprzewodników. Doświadczenie pokazuje, że kompromis pomiędzy czułością, precyzją i dokładnością jest w przypadku każdego elektronicznego systemu pomiarowego czymś naturalnym. Aby pokonać tę przeszkodę, w ramach finansowanego ze środków UE projektu MADEin4 zostaną opracowane nowe, wpisujące się w ideę Przemysł 4.0 rozwiązania dla europejskiej branży producentów półprzewodników. W prace nad zaawansowanymi i wysoce zintegrowanymi systemami cyberfizycznymi włączyło się niemal 50 europejskich producentów oraz organizacji badawczych i technologicznych. Wykorzystują oni nowe podejście inicjatywy Przemysł 4.0 które łączy analizę i projektowanie danych metrologicznych z metodami uczenia maszynowego i technologią bliźniąt cyfrowych. Nastawiony na stymulowanie rozwoju europejskiego przemysłu samochodowego i branży półprzewodników projekt MADEin4 umożliwi producentom przedkomercyjny dostęp do próbek testowych, zapewniając im kontakt z dużymi organizacjami badawczymi i technologicznymi.

Cel

The metrology domain (which could be considered as the ‘eyes and ears’ for both R&D&I and production) is a key enabler for productivity enhancements in many industries across the electronic components and system (ECS) value chain and have to be an integral part of any Cyber Physical Systems (CPS) which consist of metrology equipment, virtual metrology or Industrial internet of things (IIoT) sensors, edge and high-performance computing (HPC). The requirements from the metrology is to support ALL process steps toward the final product. However, for any given ECS technology, there is a significant trade-off between the metrology sensitivity, precision and accuracy to its productivity. MADEin4 address this deficiency by focusing on two productivity boosters which are independent from the sensitivity, precision and accuracy requirements: • Productivity booster 1: High throughput, next generation metrology and inspection tools development for the nanoelectronics industry (all nodes down to 5nm). This booster will be developed by the metrology equipment’s manufacturers and demonstrated in an industry 4.0 pilot line at imec and address the ECS equipment, materials and manufacturing major challenges (MASP Chapter 15, major challenges 1 – 3). • Productivity booster 2: CPS development which combines Machine Learning (ML) of design (EDA) and metrology data for predictive diagnostics of the process and tools performances predictive diagnostics of the process and tools performances (predictive yield and tools performance). This booster will be developed and demonstrated in an industry 4.0 pilot line at imec, for the 5nm node, by the EDA, computing and metrology partners (MASP Chapter 15, major challenge 4). The same CPS concept will be demonstrated for the ‘digital industries’ two major challenges of the nanoelectronics (all nodes down to 5nm) and automotive end user’s partners (MASP Chapter 9, major challenges 1and 3).

Dziedzina nauki

Słowa kluczowe

Program(-y)

Temat(-y)

Zaproszenie do składania wniosków

H2020-ECSEL-2018-1-IA-two-stage

Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia

System finansowania

IA - Innovation action

Koordynator

APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD
Wkład UE netto
€ 2 608 045,90
Adres
OPPENHEIMER STREET 9
76705 Rehovot
Izrael

Zobacz na mapie
Rodzaj działalności
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Linki
Koszt całkowity
€ 13 040 229,50

Uczestnicy (48)

Udostępnij tę stronę

Pobierz

Ostatnia aktualizacja: 6 Marca 2024

Moja broszura

Permalink: https://cordis.europa.eu/project/id/826589/pl

European Union, 2024