Vapor deposited thin organic–inorganic capping layers preventing copper line oxidation in polymer-based RDL technologies
(odnośnik otworzy się w nowym oknie)
Autorzy:
Chery, Emmanueal; Brady-Boyd, Anita; Lin, Yuyuan; Grimes, Michael; Springer, David; Slabbekoorn, John; Walsby, Edward; Croes, Kristof; Beyne, Eric
Opublikowane w:
Microelectron. Eng., Numer 1, 2022, ISSN 0167-9317
Wydawca:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.mee.2022.111896
Investigating the Efficacy of Hafnium Dioxide Barrier Layers to Halt Copper Oxide Formation in Redistribution Layers for Three- Dimensional (3D) Packaging
(odnośnik otworzy się w nowym oknie)
Autorzy:
Brady-Boyd, Anita; Chery, Emmanuel; Armini, Silvia
Opublikowane w:
J. Phys. Chem. Lett., Numer 19487185, 2022, ISSN 1948-7185
Wydawca:
American Chemical Society
DOI:
10.1021/acs.jpclett.2c02080
The Role of Atomic Oxygen in the Decomposition of Self-Assembled Monolayers During Area-Selective Atomic Layer Deposition
(odnośnik otworzy się w nowym oknie)
Autorzy:
Brady-Boyd, Anita; O' Connor, Robert; Armini, Silvia; Selvaraju, Venkateswaran; Pasquali, Mattia; Hughes, Greg; Bogan, Justin
Opublikowane w:
Crossref, Numer 01694332, 2022, ISSN 0169-4332
Wydawca:
Elsevier BV
DOI:
10.1016/j.apsusc.2022.152679